[实用新型]一种磁力补偿涡旋真空泵

权利要求书

1.一种磁力补偿涡旋真空泵，包括电机（1）及与电机（1）输出轴相连的曲轴（2），在曲轴（2）上设有支架（3）和静涡旋盘（4），支架（3）和静涡旋盘（4）共同围合形成气体容纳腔（5），在气体容纳腔（5）内的曲轴（2）上套装着动涡旋盘（6），其特征在于：在所述支架（3）或静涡旋盘（4）上设有外磁环（7），在动涡旋盘（6）上设有内磁环（8），外磁环（7）和内磁环（8）在磁力作用下使动涡旋盘（6）朝向静涡旋盘（4）轴向靠近。

2.根据权利要求1所述的一种磁力补偿涡旋真空泵，其特征在于：所述外磁环（7）和内磁环（8）嵌装于支架（3）和动涡旋盘（6）的相邻面间，且外磁环（7）和内磁环（8）相邻面的磁极性相同。

3.根据权利要求1所述的一种磁力补偿涡旋真空泵，其特征在于：所述外磁环（7）嵌装于静涡旋盘（4）的外端面上，内磁环（8）嵌装于与支架（3）相邻的动涡旋盘（6）端面上，且外磁环（7）和内磁环（8）相邻面的磁极性相反。

4.根据权利要求1所述的一种磁力补偿涡旋真空泵，其特征在于：所述外磁环（7）和内磁环（8）的大小相同，且二者与支架（3）同轴设置。

5.根据权利要求1所述的一种磁力补偿涡旋真空泵，其特征在于：所述外磁环（7）和内磁环（8）均为电磁铁，且在静涡旋盘（4）和动涡旋盘（6）的轴向配合面间设有压力传感器（9），压力传感器（9）通过控制系统（10）电连接着外磁环（7）和内磁环（8），控制系统（10）根据压力传感器（9）的检测信息自动控制外磁环（7）和内磁环（8）磁力的大小。

6.根据权利要求5所述的一种磁力补偿涡旋真空泵，其特征在于：所述外磁环（7）和内磁环（8）均为分布式电磁体，包括内筒体（71）及同轴套装在内筒体（71）外的外筒体（72），在内筒体（71）和外筒体（72）间的环形腔体内均布着若干个柱状电磁体（73），压力传感器（9）通过控制系统（10）电连接在柱状电磁体（73）上。