[实用新型]一种旋转靶检测装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶检测装置，包括分别安装于旋转靶两端口的检测盖和检测杆，检测盖设置有安装腔，安装腔的形状与旋转靶端口形状相适应，安装腔的内侧设置有内螺纹，旋转靶的端口设置有安装螺纹，内螺纹的形状与安装螺纹形状相适应，检测盖的一端开设有安装通孔，检测杆设置有内杆部和手杆部，手杆部设置在内杆部的两端，内杆部的外侧面与旋转靶的内壁间隙配合，手杆部的外侧形状与安装通孔的内侧形状相适应，检测盖、安装通孔与检测杆同轴配合。本实用新型的旋转靶检测装置，能检测旋转靶的两端端口安装螺纹的同轴度，严格验证靶材形状尺寸的可靠性，降低售后返修率。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶检测技术领域，尤其是涉及一种旋转靶检测装置。

背景技术

旋转靶在磁控溅射设备上使用时，旋转靶沿磁控溅射设备的安装轴同轴旋转，因此对靶材的形状尺寸，包括端口安装螺纹形状尺寸和旋转靶内壁形状尺寸的要求很高，如果尺寸出现偏差，导致无法在设备上使用。若旋转靶返回修整，则需要耽误1-2周的时间，售后返修时间长，同时也增加了运输成本，在运输过程中靶材也有可能发生损坏。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转靶检测装置，能检测旋转靶的两端端口安装螺纹的同轴度，严格验证靶材形状尺寸的可靠性，降低售后返修率。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转靶检测装置，包括分别安装于旋转靶两端口的检测盖和检测杆，检测盖设置有安装腔，安装腔的形状与旋转靶端口形状相适应，安装腔的内侧设置有内螺纹，旋转靶的端口设置有安装螺纹，内螺纹的形状与安装螺纹形状相适应，检测盖的一端开设有安装通孔，检测杆设置有内杆部和手杆部，手杆部设置在内杆部的两端，内杆部的外侧面与旋转靶的内壁间隙配合，手杆部的外侧形状与安装通孔的内侧形状相适应，检测盖、安装通孔与检测杆同轴配合。

进一步的技术方案中，所述检测盖设置有安装盖，所述安装腔和所述内螺纹设置于安装盖，安装腔的底部设置有抵顶面，抵顶面与所述旋转靶的端口的端面抵顶配合。

进一步的技术方案中，所述检测盖设置有固定限位盖，所述安装通孔设置于固定限位盖，所述安装腔的底部设置有连接口，固定限位盖固定于安装盖设置有连接口的一侧，连接口等于或大于所述安装通孔。

进一步的技术方案中，所述固定限位盖包括固定盖、限位部和旋转部件，限位部一侧的中部设置有旋转腔，旋转部件固定安装于旋转腔，旋转部件的中部开设有旋转孔，限位部的另一侧固定安装有固定盖，固定盖的中部开设有插入孔，旋转孔和插入孔连接形成所述安装通孔，固定盖、限位部和旋转部件同轴安装。

进一步的技术方案中，所述固定盖、限位部和所述安装盖分别设置连接孔，固定盖、限位部和所述安装盖的连接孔的位置对应设置，固定盖、限位部和所述安装盖的连接孔分别对应连接。

进一步的技术方案中，所述旋转腔的一侧开设有限位孔，另一侧为安装开口端，限位孔大于所述旋转孔，限位孔小于所述旋转部件安装于旋转腔时的投影面积，所述旋转腔的内轮廓形状与所述旋转部件形状相适应，所述固定盖覆盖固定于安装开口端。

进一步的技术方案中，所述固定盖与所述旋转腔围合形成部件安装空间，旋转部件安装于部件安装空间内。

进一步的技术方案中，所述内杆部的两端的端面分别抵顶所述检测盖的所述抵顶面，所述手杆部插入所述安装通孔，手杆部沿安装通孔延伸至所述检测盖的外侧。

进一步的技术方案中，所述手杆部的直径与所述安装通孔的直径相等。

进一步的技术方案中，所述内杆部的外壁与所述旋转靶内壁的间隙设置在0.2mm至0.3mm。

采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：