[实用新型]一种制备三氯化镓的设备

权利要求书

1.一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，其包括：

反应釜和进出料管，所述进出料管第一端伸入所述反应釜的底部，所述进出料管第二端自反应釜内部伸出所述反应釜的外部；

进料装置和出料装置，其中，所述进料装置和所述出料装置分别通过管道连通所述进出料管形成三通结构；

真空泵，所述真空泵通过管道连通所述出料装置。

2.根据权利要求1所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述进料装置包括储液桶以及储气桶。

3.根据权利要求1所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述制备三氯化镓的设备还包括保护外壳，所述保护外壳通过管道连通所述进料装置。

4.根据权利要求1所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述制备三氯化镓的设备还包括冷凝套和冷水箱，所述冷凝套围绕着所述反应釜设置，所述冷水箱通过管道连通所述冷凝套。

5.根据权利要求4所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述制备三氯化镓的设备还包括：

冷凝器，所述冷凝器的一端通过管道连通所述反应釜，用于降低反应釜反应后产生废气的温度；

冷凝管，所述冷凝管在所述冷凝器内环绕设置，且通过管道连通所述冷水箱；

液封装置，所述液封装置通过管道连通所述冷凝器远离所述反应釜的一端，用于排放反应釜反应后产生的废气。

6.根据权利要求1所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述制备三氯化镓的设备还包括冷却装置，所述冷却装置通过管道连通所述出料装置。

7.根据权利要求1所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述进出料管的三通结构上设置有用于控制进料的第一电磁阀以及用于控制出料的第二电磁阀。

8.根据权利要求1所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述进出料管的第一端上还设置有用于监测所述反应釜温度的温度传感器。

9.根据权利要求3所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述保护外壳上设置有观察窗。

10.根据权利要求5所述的一种制备三氯化镓的设备，其特征在于，所述制备三氯化镓的设备还包括防倒吸缓冲瓶，所述防倒吸缓冲瓶一端通过管道连通所述液封装置，另一端通过管道连通所述反应釜。