[实用新型]一种带切割道的软结构纳米压印模具有效
| 申请号： | 201922329343.3 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN211375312U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 张琬皎;刘寅;张颖 | 申请（专利权）人： | 杭州欧光芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市大江东产业*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割 结构 纳米 压印 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种带切割道的软结构纳米压印模具，其特征在于：
包括基板(211)；
包括切割道遮光层(213)，切割道遮光层(213)布置于基板(211)上表面；
包括微纳结构层(212)，所述的微纳结构层为覆盖在基板(211)下表面的带有微纳凹凸表面的材料层。
2.根据权利要求1所述的一种带切割道的软结构纳米压印模具，其特征在于：所述的基板(211)采用玻璃、PET、PC或者PMMA。
3.根据权利要求1所述的一种带切割道的软结构纳米压印模具，其特征在于：所述的切割道遮光层(213)形状为预留切割道的形状。
4.根据权利要求1所述的一种带切割道的软结构纳米压印模具，其特征在于：所述的切割道遮光层(213)采用紫外光透过率低的金属，具体为铬，钼或钨。
5.根据权利要求1所述的一种带切割道的软结构纳米压印模具，其特征在于：所述的微纳结构层的凹凸形状与所需制作的微纳产品的凸凹形状相反。
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