[实用新型]一种空气隙型薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种空气隙型薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括从下至上依次分布的外延衬底、压电层及钝化层，所述压电层的上表面与下表面分别相对相连接有顶电极与底电极；所述外延衬底的顶部设有第一硅腔，所述底电极与第一硅腔形成空气隙结构。

2.如权利要求1所述的一种空气隙型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极与底电极的厚度均为100nm～700nm，所述压电层的厚度为500nm～3um。

3.如权利要求1所述的一种空气隙型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一硅腔的深度为1um～30um。

4.如权利要求1所述的一种空气隙型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述底电极与所述顶电极均采用金属材料，所述金属材料包括铂Pt、钼Mo、钨W、钛Ti、铝Al、金Au、银Ag中的一种或以上。

5.如权利要求2所述的一种空气隙型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电层采用氧化锌ZnO、氮化铝AlN或压电陶瓷；所述钝化层采用氮化铝AlN、钼Mo或二氧化硅SiO₂。

6.如权利要求3所述的一种空气隙型薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述第一硅腔的深度为2.5um。