[实用新型]一种石英环自动火抛光装置

说明书

本实用新型公开了一种石英环自动火抛光装置，包括用于支撑整个装置的机架，设置在机架内的自动回转升降机构，所述自动回转升降机构包括升降主轴、用于控制产品升降动作的升降结构和用于控制产品回转运动的回转结构；产品工装治具，所述产品工装治具安装在升降主轴上；焊枪组件，所述焊枪组件安装在机架台面上；为整个装置提供电控控制保障的配电柜和上位机，所述配电柜安装在机架一侧，所述上位机安装在配电柜上。本实用新型实现了石英环的自动火抛光，操作简单、效率高且抛光质量均匀，还减少了人为操作步骤，降低了人工成本。

技术领域

本实用新型涉及石英玻璃加工领域，尤其是涉及一种石英环自动火抛光装置。

背景技术

随着芯片行业的快速发展，市场需求激增，半导体设备行业随之发展迅速。石英玻璃产品属于半导体设备常用的耗材部件，需求也随之日益增长。石英玻璃采用高纯度的硅砂作为原材料，成型后本身纯度较高，也可作为半导体材料加工的重要辅材。石英玻璃属于特种玻璃，石英制品加工除机械冷加工外，还有需要高温焊枪加热塑形的火加工，火加工过程中常见有两种工艺：焊接和火抛光。火抛光属于石英玻璃火加工工艺领域内重要工序，工艺要求严苛。当前石英玻璃火抛光工艺基本为人工操作，加工质量稳定性较差且效率低下，人力成本较高。

例如，在中国专利文献上公开的“带有凹口的石英大环抛光工艺”，其公告号CN110052899A，包括以下步骤：A、打磨外径；B、清洗；C、将石英大环保持轴线水平放置于工作台，使石英大环的凹口位置处在以石英大环最高点为端点的四分之一圆弧的中点；D、将石英大环缓慢推入退火炉内进行加热，待退火炉升温至950℃，停止加热，将石英大环拖出；E、以火焰喷射的方式对石英大环上部的半个圆周进行高温抛光；F、将石英大环推入退火炉内进行退火；G、检查应力，将石英大环沿轴线旋转180°，以火焰喷射的方式对石英大环未抛光的部分进行高温抛光；H、再次将石英大环推入退火炉内进行退火；I、成品检验。该发明所述的工艺基本为人工操作，加工质量稳定性较差且效率低下，人力成本较高。

实用新型内容

本实用新型是为了克服现有的石英玻璃的火抛光工艺基本为人工操作，加工质量差且效率低下，人力成本高的问题，提供一种石英环自动火抛光装置，实现石英环的自动火抛光，操作简单、效率高且抛光质量均匀，还减少了人为操作步骤，降低了人工成本。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英环自动火抛光装置，包括用于支撑整个装置的机架，设置在机架内的自动回转升降机构，所述自动回转升降机构包括升降主轴、用于控制产品升降动作的升降结构和用于控制产品回转运动的回转结构；产品工装治具，所述产品工装治具安装在升降主轴上；焊枪组件，所述焊枪组件安装在机架台面上；为整个装置提供电控控制保障的配电柜和上位机，所述配电柜安装在机架一侧，所述上位机安装在配电柜上。

机架用于支撑整个装置，在机架上安装了自动回转升降机构，自动回转升降机构用于控制产品的升降动作和回转动作，其升降结构和回转结构分别控制升降主轴的升降运动和回转运动，而升降主轴连接产品工装治具，产品固定在产品工装治具上，随着产品工装治具进行运动，焊枪组件用于对产品进行火抛光作业；配电柜和上位机为整个装置提供电控控制保障，上位机控制自动回转升降机构的升降动作和回转动作，上位机还控制了焊枪组件的开火和关火；在产品进行自动火抛光时，首先将产品放置在产品工装治具上，然后将产品工装治具安装在升降主轴上，在启动上位机，通过上位机调取相应的加工程序启动运行，装置即可全自动按照技工程序运转，操作简单便捷，效率高，较少了人为操作步骤，降低了人工成本，另外只要编辑好程序即可控制自动火抛光作业中的各种运动参数，使装置可以更精准地控制产品，提高产品的抛光质量。

作为优选，所述自动回转升降机构还包括用于支撑的升降装置机架，所述升降装置机架内设置有支撑板，所述升降结构和所述回转结构分别设置在升降装置机架内。

升降装置机架为自动回转升降机构提供了支撑平台，其中支撑板用于支撑升降结构。