[实用新型]一种MO源钢瓶侧漏装置连接头

说明书

本实用新型公开了一种MO源钢瓶侧漏装置连接头，包括载气连接管，载气连接管一端连接载气源接头，另一端可相对旋转地密封套接MO源充装口连接管，MO源充装口连接管内周螺纹连接MO源钢瓶的MO源充装口；其中，载气连接管的外周端部设有密封台阶，MO源充装口连接管的内周端部设有可相对密封台阶旋转的密封卡槽，同时载气连接管与MO源充装口连通，且载气连接管的外端面与MO源充装口的端面密封接触配合；本实用新型实现了与MO源充装口与载气源之间的快速密封连接，同时整体安装过程快速高效，且连接头的结构简单，成本低。

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器的制造加工领域，具体涉及了一种MO源钢瓶侧漏装置连接头。

背景技术

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。

如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源供给饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。

因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种MO源钢瓶侧漏装置连接头，实现了与MO源充装口与载气源之间的快速密封连接，同时整体安装过程快速高效，且连接头的结构简单，成本低。

现有技术中的MO源钢瓶均是采用进气口延伸入MO源钢瓶内用于注入载气，同时出气管直接设置在MO源钢瓶的上端部，这通常有利于将鼓泡后形成的MO源饱和蒸汽输出至产线进行应用，然而，申请人发现，该结构当应用于超大容量的MO源钢瓶时，用于MO源钢瓶的容量大，当MO源钢瓶内的MO源余量多时，位于上端部的出气口无法即时快速地接收的到MO源饱和气体，且均匀性无法保证，当MO源钢瓶内的MO源余量少时，位于底部的MO源气体难以拿到饱和状态被输出，造成MO源的利用率较低，因此，本申请人针对性地出了解决方案。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种超大容量MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通且用于注入载气的进气管和输出MO源气体的出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，所述MO源封装空间的体积不小于15000mL，所述进气管与所述出气管相对于所述钢瓶本体中心线呈左右对称分布；

所述钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，所述进气管的出口和所述出气管的入口均位于所述弧形曲面钢瓶底部，在弧形曲面钢瓶底部形成均匀鼓泡对流区域。

优选地，所述MO源封装空间的体积为20000mL或25000mL。

优选地，所述钢瓶底座外径与所述钢瓶本体外径之间的差值不大于10mm，使得所述MO源钢瓶整体呈圆柱状。

优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有用于充装MO源的MO源充装口，且所述MO源充装口设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述MO源充装口的中心轴线与所述弧形曲面钢瓶底部的中心轴线重合。

优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度。