[实用新型]一种用于半导体制造设备的钟摆阀

权利要求书

1.一种用于半导体制造设备的钟摆阀，其特征在于，包括：

阀门本体，其两端分别连通反应室和真空泵；

振子板，其面积覆盖所述阀门本体内部的气体通道，并在第一驱动电机的带动下进行转动，从而调节所述气体通道的大小；

密封板，其设置在所述振子板的上侧，并在密封结构的带动下在贴紧和释放所述振子板的两个状态之间移动；

所述密封结构包括：

圆环本体，在其圆周方向设置有多个贯通的移动槽，每一所述移动槽内设有向旋转方向延伸形成的倾斜面；

轴辅材，其设置于所述移动槽内，其一端与所述密封板固定，其另一端为卡接于所述倾斜面的卡头，沿着所述倾斜面升降；

弹性辅材，其设置于所述卡头的上侧；

第二驱动电机，其传动轴与原动体连接；

其中，所述圆环本体和所述原动体之间具有用所述原动体的动力旋转所述圆环本体的动力传达部。

2.根据权利要求1所述的钟摆阀，其特征在于，所述动力传达部为所述圆环本体和所述原动体相啮合的齿轮组。

3.根据权利要求1所述的钟摆阀，其特征在于，所述动力传达部为所述圆环本体和所述原动体之间的传动带。

4.根据权利要求1所述的钟摆阀，其特征在于，所述倾斜面由两个对称的限位块构成，所述限位块具有向旋转方向延伸并倾斜的台阶坡面，两个限位块的台阶坡面之间具有空隙以容纳所述轴辅材，两个限位块的台阶坡面支撑着所述轴辅材的卡头。

5.根据权利要求1或4所述的钟摆阀，其特征在于，所述倾斜面向顺时针的旋转方向延伸，并向下倾斜；所述第二驱动电机带动所述密封结构顺时针转动，所述轴辅材沿着所述倾斜面下降，所述密封板贴紧所述振子板；所述第二驱动电机带动所述密封结构逆时针转动，所述轴辅材沿着所述倾斜面上升，所述密封板释放所述振子板。

6.根据权利要求1所述的钟摆阀，其特征在于，在所述圆环本体的圆周方向设置有至少四个对称的贯通的移动槽。

7.根据权利要求1所述的钟摆阀，其特征在于，所述弹性辅材为螺旋弹簧。