[实用新型]一种玻璃基板清洗装置

权利要求书

1.一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，包括喷淋清洗系统、烘干系统、传输系统和废液收集系统；所述传输系统包括传输滚轮组，用于传输清洗过程中的玻璃基板，所述传输系统依次贯穿喷淋清洗系统和烘干系统；所述喷淋清洗系统包括喷淋管路，所述喷淋管路包括分别朝向玻璃基板上表面、下表面设置的喷头；所述烘干系统用于对清洗后的玻璃基板进行烘干处理；所述废液收集系统设置于喷淋清洗系统、烘干系统的底部，用于收集清洗和烘干过程中的清洗液。

2.根据权利要求1所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述烘干系统内设有一组风刀（2），每组风刀（2）分为上风刀和下风刀，上风刀朝向玻璃基板的上表面设置，下风刀朝向玻璃基板的下表面设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述传输滚轮组包括传输滚轮组和压紧滚轮组，所述传输滚轮组包括多组设置于玻璃基板底部的传输滚轮（9）；所述压紧滚轮组包括多组设置于玻璃基板上部的压紧滚轮（1）。

4.根据权利要求3所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述压紧滚轮(1)仅在烘干系统内设置，通过所述传输滚轮（9）和压紧滚轮（1）对玻璃基板进行压紧。

5.根据权利要求4所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述压紧滚轮(1)仅在烘干系统内设置，所述传输滚轮（9）为主动滚轮，所述压紧滚轮（1）为从动滚轮。

6.根据权利要求5所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述喷头通过清洗液连接管连接清洗液储存箱（7），且在清洗液连接管上设有清洗液输送泵（5）。

7.根据权利要求6所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述废液收集系统包括废液收集槽（3），所述废液收集槽（3）设置在喷淋清洗系统、烘干系统的底部，所述废液收集槽（3）通过管路连接过滤器（6）的入口，所述过滤器（6）对所收集的废液进行过滤。

8.根据权利要求7所述的一种玻璃基板清洗装置，其特征在于，所述过滤器（6）的出口连接清洗液储存箱（7）。