[实用新型]基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置

说明书

本申请公开一种基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置，包括：飞秒激光器、光整形单元、分束器、第一光路转折单元、第二光路转折单元、第一扫描振镜系统、第二扫描振镜系统、第一加工运动平台和第二加工运动平台；所述分束器可将所述飞秒激光器产生的飞秒激光束分成功率相等的第一飞秒激光束和第二飞秒激光束；所述第一光路转折单元和所述第二光路转折单元均包括一个或多个反射镜，分别用于将所述第一飞秒激光束传播至所述第一扫描振镜系统和所述第二扫描振镜系统；所述第一扫描振镜系统和所述第二扫描振镜系统可分别通过所述第一飞秒激光束和所述第二飞秒激光束同步对同一产品进行加工。本申请可实现更高的切割质量且有利于环保。

技术领域

本申请涉及SMT钢网的激光加工技术领域，特别涉及一种基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置及方法。

背景技术

SMT(Surface Mounted Technology,表面贴装技术)激光钢网是SMT行业里常用一种印刷模板；行业里常规加工方式是采用光纤激光器搭配聚焦切割镜头，结合激光束同轴吹气来进行SMT模板的激光加工；利用的原理是聚焦激光束将金属热熔，然后利用高压同光轴吹气将金属熔渣吹离，从而实现金属的切割；优点在于此种方式切割的效率高，切割一片模板的时间在几分钟到几十分钟；但是，这种激光切割后的模板，切割边缘有毛刺和切割孔壁内有熔渣，需要进行后工序毛刺打磨处理和孔壁抛光处理。孔壁有效抛光一般只能采用电化学抛光，具有不环保的因素存在。

以上背景技术内容的公开仅用于辅助理解本申请的发明构思及技术方案，其并不必然属于本申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本申请的申请日已经公开的情况下，上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。

实用新型内容

本申请提出一种基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置及方法，可实现更高的切割质量且有利于环保。

在第一方面，本申请提供一种基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置，包括：飞秒激光器、光整形单元、分束器、第一光路转折单元、第二光路转折单元、第一扫描振镜系统、第二扫描振镜系统、第一加工运动平台和第二加工运动平台；

所述飞秒激光器、所述光整形单元和所述分束器沿光轴设置；

所述光整形单元用于对所述飞秒激光器产生的飞秒激光束进行整形；

所述分束器可将所述飞秒激光器产生的飞秒激光束分成功率相等的第一飞秒激光束和第二飞秒激光束；

所述第一光路转折单元和所述第二光路转折单元均包括一个或多个反射镜；

所述第一光路转折单元用于将所述第一飞秒激光束传播至所述第一扫描振镜系统；

所述第二光路转折单元用于将所述第二飞秒激光束传播至所述第二扫描振镜系统；

所述第一加工运动平台和所述第二加工运动平台均用于工位替换和对产品进行上下料；

所述第一扫描振镜系统和所述第二扫描振镜系统可分别通过所述第一飞秒激光束和所述第二飞秒激光束同步对同一产品进行加工。

在一些优选的实施方式中，所述分束器可使所述第一飞秒激光束和所述第二飞秒激光束的功率相差不超过1％。

在一些优选的实施方式中，所述第一加工运动平台和所述第二加工运动平台均为平面二维运动平台。

在一些优选的实施方式中，所述光整形单元为扩束镜。

在一些优选的实施方式中，所述光整形单元的扩束倍数为3至5倍。

在一些优选的实施方式中，所述飞秒激光器的单脉冲能量为200-300uJ。

在一些优选的实施方式中，所述飞秒激光器的激光波长为1030nm。