[实用新型]带有减震圈的电磁透镜

说明书

本实用新型涉及一种带有减震圈的电磁透镜，包括；磁轭，包括底板、与底板相对间隔设置的顶板、以及连接底板和顶板的外筒；底板设有第一通孔，底板的内壁上设置有连通第一通孔的第一内筒；顶板上设有第二通孔，顶板的内壁上设置有连通第二通孔的第二内筒，且第二内筒与第一内筒相对间隔设置；线圈，设于外筒内并套设在第一内筒及第二内筒上，线圈的底部与底板紧贴，线圈的顶部与顶板具有间隙；减震圈，设置在间隙中并套设在第二内筒上；且减震圈紧贴线圈及顶板设置。通过在线圈与顶板之间形成的间隙中设置减震圈，有效防止电磁透镜在工作中由于磁场的作用会使线圈与磁轭之间产生轻微的震动，有效保证扫描电子显微镜的成像质量。

技术领域

本实用新型涉及电子显微镜技术领域，特别是涉及一种带有减震圈的电磁透镜。

背景技术

电子波和光波不同，不能通过玻璃透镜会聚成像。但是轴对称的非均匀电场和磁场则可以让电子束折射，从而产生电子束的会聚与发散，达到成像的目的。人们把用静电场构成的透镜称之静电透镜。把电磁线圈产生的磁场所构成的透镜称之电磁透镜。对于电磁透镜，通常是通过改变激励线圈中的电流来改变电磁透镜的聚焦特性。

在扫描电子显微镜中，传统电磁透镜的磁轭与线圈之间没有固定连接，只是将线圈装在磁轭内，但是线圈整体大小很难控制在公差范围内，所以线圈装在磁轭内就会有间隙，导致电磁透镜在工作中由于磁场的作用会使线圈与磁轭之间产生轻微的震动，容易影响扫描电子显微镜的成像质量。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前传统技术的问题，提供一种带有减震圈的电磁透镜。

一种带有减震圈的电磁透镜，包括；

磁轭，包括底板、与所述底板相对间隔设置的顶板、以及连接所述底板和所述顶板的外筒；所述底板设有第一通孔，所述底板的内壁上设置有连通所述第一通孔的第一内筒；所述顶板上设有第二通孔，所述顶板的内壁上设置有连通所述第二通孔的第二内筒，且所述第二内筒与所述第一内筒相对间隔设置；

线圈，设于所述外筒内并套设在所述第一内筒及所述第二内筒上，所述线圈的底部与所述底板紧贴，所述线圈的顶部与所述顶板具有间隙；

减震圈，设置在所述间隙中并套设在所述第二内筒上；且所述减震圈紧贴所述线圈及所述顶板设置。

上述电磁透镜，通过在线圈与顶板之间形成的间隙中设置减震圈，且减震圈紧贴线圈及顶板设置，确保减震圈与磁轭的顶板之间具有很好的减震效果，有效防止电磁透镜在工作中由于磁场的作用会使线圈与磁轭之间产生轻微的震动，有效保证扫描电子显微镜的成像质量。

在其中一个实施例中，所述减震圈为弹性密封圈。

在其中一个实施例中，所述外筒的外壁上设有环形槽。

在其中一个实施例中，还包括电源线，所述电源线的一端穿过所述外筒与所述线圈连接。

在其中一个实施例中，所述外筒靠近所述底板的一端设有插孔，所述电源线的一端穿过所述插孔与所述线圈连接。

在其中一个实施例中，所述底板的外壁上设置有多个垫块。

在其中一个实施例中，所述第一内筒与所述第二内筒同轴心设置。

在其中一个实施例中，所述第二内筒的长度大于所述第一内筒的长度。

在其中一个实施例中，所述第一内筒与所述底板一体成型制成；所述第二内筒与所述顶板一体成型制成。

在其中一个实施例中，所述外筒与所述顶板一体成型设置。

附图说明

图1为本实用新型的一实施方式的带有减震圈的电磁透镜的剖视图。

附图中各标号的含义为：