[实用新型]一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置有效

专利信息
申请号: 201922363107.3 申请日: 2019-12-25
公开(公告)号: CN210952671U 公开(公告)日: 2020-07-07
发明(设计)人: 周其刚;黄家荣 申请(专利权)人: 南京欧美达应用材料科技有限公司
主分类号: G01B5/25 分类号: G01B5/25;G01B5/252
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 211102 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 旋转 直线 同心 检测 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,包括双平行轨道和单轨道,所述双平行轨道与所述单轨道平行设置,所述双平行轨道一端上固定设置有固定尾座,所述双平行轨道另一端上滑动设置滑动尾座,所述固定尾座和滑动尾座上活动连有转动杆,两个所述转动杆相对设置,所述转动杆的前端连有用于固定旋转靶材两端的夹头,所述单轨道上活动设置有滑动块,所述滑动块上连有支撑调节杆的下端,所述支撑调节杆的上端连有百分表。本实用新型提供的一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,结构简单、操作方便,能够方便地对旋转靶材进行直线度和同心度的检测。

技术领域

本实用新型涉及一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,属于靶材检测技术领域。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的,里面装有静止不动的磁体,以慢速转动。靶材基管的直线度和同心度非常重要,不合格的话会导致生产完的靶材无法正常使用,大大增加了工厂成本,浪费人力物力。因此,旋转靶材基管加工后需要进行直线度和同心度的检测。现有技术中,旋转靶材的直线度和同心度的检测装置会存在结构复杂或者操作繁琐的缺陷。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是,克服现有技术的缺陷,提供一种结构简单,操作方便的旋转靶材的直线度和同心度的检测装置。

为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为:

一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,包括双平行轨道和单轨道,所述双平行轨道与所述单轨道平行设置,所述双平行轨道一端上固定设置有固定尾座,所述双平行轨道另一端上滑动设置滑动尾座,所述固定尾座和滑动尾座上活动连有转动杆,两个所述转动杆相对设置,所述转动杆的前端连有用于固定旋转靶材两端的夹头,所述单轨道上活动设置有滑动块,所述滑动块上连有支撑调节杆的下端,所述支撑调节杆的上端连有百分表。

所述夹头的截面为逐渐变小的等腰梯形。

所述支撑调节杆包括活动相连第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆,所述第一连接杆一端设置有第一螺纹环,所述第二连接杆一端设置有第二螺纹环,所述第一螺纹环和第二螺纹环之间通过螺纹栓拧紧固定,所述第一连接杆另一端固定在所述滑动块上,所述第二连接杆另一端设置圆球限位槽,所述第三连接杆一端设置有设置在所述圆球限位槽内的圆球,所述第三连接杆另一端与所述百分表相连。

所述螺纹栓顶部为六角形。所述第一连接杆为空心结构。所述第二连接杆为空心结构。

本实用新型的有益效果:本实用新型提供一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置,通过在双平行轨道上设置靶材夹持装置,一侧固定,另一侧可移动,单轨道上设置测量装置,轨道上设滑动块,滑块上设置百分表,分别移动滑动块和转动旋转靶材,可以方便地测量旋转靶材的直线度和同心度,操作简单,实用性强。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种旋转靶材的直线度和同心度的检测装置的结构示意图。

图2为本实用新型中支撑调节杆的结构示意图。

图中附图标记如下:1-双平行轨道、2-单轨道、3-固定尾座、4-滑动尾座、5-转动杆、6-夹头、7-旋转靶材、8-滑动块、9-支撑调节杆、10-百分表、91-第一连接杆、92-第二连接杆、93-第三连接杆、94-螺纹栓、95-圆球、96-圆球限位槽、97-第二螺纹环、98-第一螺纹环。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述,以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

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