[实用新型]一种掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，其特征在于，包括掩膜板本体、位于所述掩膜板本体上的对位标记以及至少两组对位图案组；

所述至少两组对位图案组包括甲对位图案组和乙对位图案组；

所述甲对位图案组至少包括第一甲对位图案和第二甲对位图案，所述第一甲对位图案包括第一甲中心和第一甲边缘点，所述第二甲对位图案包括第二甲中心和第二甲边缘点；所述乙对位图案组至少包括第一乙对位图案和第二乙对位图案，所述第一乙对位图案包括第一乙中心和第一乙边缘点，所述第二乙对位图案包括第二乙中心和第二乙边缘点；

所述第一甲边缘点、所述第二甲边缘点、所述第一乙边缘点和所述第二乙边缘点均位于所述对位标记的边缘上，且所述第一甲中心和所述第二甲中心的连线经过所述对位标记的中心，所述第一乙中心和所述第二乙中心的连线经过所述对位标记的中心。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一甲中心和所述第二甲中心的连线与所述第一乙中心和所述第二乙中心的连线垂直。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述对位标记为一与晶圆等大的圆形。

4.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述对位标记的中心与所述掩膜板本体的中心重合。

5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一甲对位图案的形状包括圆形、三角形、矩形和平行四边形中的至少一种；

所述第二甲对位图案的形状包括圆形、三角形、矩形和平行四边形中的至少一种；

所述第一乙对位图案的形状包括圆形、三角形、矩形和平行四边形中的至少一种；所述第二乙对位图案的形状包括圆形、三角形、矩形和平行四边形中的至少一种。