[实用新型]一种硅片切割车间空气净化系统

权利要求书

1.一种硅片切割车间空气净化系统，其特征在于：包括安装在车间内的回风风机(5)和PM2.5检测仪，所述回风风机连接水帘处理箱(1)，所述水帘处理箱(1)内设置水帘喷管(11)，所述水帘处理箱(1)通过回水管(12)连接水箱(2)，所述水帘处理箱(1)还通过引风机(3)连接水雾处理设备(4)，所述水雾处理设备(4)从下至上依次水雾处理室(41)、脱水处理室(42)和活性炭吸附室(43)，所述水雾处理室(41)内包括若干层水雾喷管(411)，所述水雾喷管(411)均连接若干水雾喷头(412)，所述脱水处理室(42)内设置螺旋片(421)，所述脱水处理室(42)的侧壁设置过滤层(422)，所述过滤层(422)设置排水管(423)，所述活性炭吸附室(43)内设置活性炭层(431)，所述水雾处理设备(4)连接紫外线杀菌箱(6)，所述紫外线杀菌箱(6)通过新风系统连接车间。

2.根据权利要求1所述的硅片切割车间空气净化系统，其特征在于：所述水帘处理箱(1)内设置三条水帘喷管(11)。

3.根据权利要求1所述的硅片切割车间空气净化系统，其特征在于：所述水雾处理室(41)内设置三层水雾喷管(411)。