[实用新型]中测台用集成电路板夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种中测台用集成电路板夹持装置，包括由下至上依次排布的底座、承片台、探针台以及显微镜，探针台的顶壁设有检测孔，还包括安装在承片台底壁的支柱、等间距排列在支柱周壁上的支座、滑移设置在支座顶壁的调节块、位于在承片台上的抵板以及安装在底座上的气缸，气缸驱动支柱滑移至检测孔的下方，抵板上设有安装件固定在调节块的顶壁，支座上设有驱动调节块沿其轴向滑移的调节组件，若干抵板之间围合形成有夹持工件的定位空间，承片台的顶壁均布设有若干抽气孔，支柱内设有与抽气孔相连通的空腔，空腔内设有将工件固定在承片台顶壁的吸附件；该夹持装置方便、快速的对集成电路板定位，提高了检测精度和效率。

技术领域

本实用新型涉及集成电路芯片检测的技术领域，特别涉及一种中测台用集成电路板夹持装置。

背景技术

在半导体制造技术中，集成电路芯片在加工完成后需要进行测试，在对集成电路板上的晶圆的测试过程中，由于晶圆上芯片的面积很小，不能通过直接的方法与检测系统相连来测试其电气参数，一般引入探测卡来转接。

目前，一般通过中测台对集成电路板进行检测，中测台又称探针台，探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能；在测试时，通过人工将集成电路板放置在承片台上，然后通过真空阀吸附固定，晶圆上的晶粒随着承片台有规格的移动并与探针接触，实现对晶粒各项指标的测试。

但是现有的中测台存在以下使用缺陷：集成电路板的上下片均采用人工操作，且承台片上没有对集成电路板定位，一般需要人工对集成电路板进行角度调整，由于人工操作存在误差，容易造成探针不在晶圆第一晶粒中心，导致随后的测试过程产生累积误差，严重时会使探针跑偏，降低了测试效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种中测台用集成电路板夹持装置，其优点是：方便、快速的对集成电路板定位，不需要人力手动调整，提高了检测精度和效率。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种中测台用集成电路板夹持装置，包括由下至上依次排布的底座、承片台、探针台以及显微镜，所述探针台的顶壁设有检测孔，还包括安装在承片台底壁的支柱、等间距排列在支柱周壁上的支座、滑移设置在支座顶壁的调节块、位于在承片台上的抵板以及安装在底座上的气缸，所述气缸驱动支柱滑移至检测孔的下方，所述抵板上设有安装件固定在调节块的顶壁，所述支座上设有驱动调节块沿其轴向滑移的调节组件，若干所述抵板之间围合形成有夹持工件的定位空间，所述承片台的顶壁均布设有若干抽气孔，所述支柱内设有与抽气孔相连通的空腔，所述空腔内设有将工件固定在承片台顶壁的吸附件。

通过上述技术方案，检测前，将工件放置在承片台上；首先利用安装件将抵板与调节块相连；其次利用调节组件驱动调节块在支座上滑移，进而带动若干抵板相互靠近并紧抵在工件的周壁，实现了对工件的定位；然后利用吸附件，将工件稳定吸附在承片台上；最后启动气缸，驱动支柱滑移，使得承片台滑移至检测孔下方，便于对工件检测；采用上述结构构成的夹持装置，方便、快速的对集成电路板定位，不需要人力手动调整，提高了检测精度和效率。

本实用新型进一步设置为：所述安装件为L型杆、与L型杆的竖直端相连的插块，所述L型杆的水平端与抵板相连，所述调节块的顶壁设有供插块插入的插槽，所述插槽内设有用于固定插块的定位件。

通过上述技术方案，将插块插入插槽内，利用定位件可将插块固定；插槽的设置，以便将插块滑移至合适高度，进而将抵板移动至合适高度，可对不同厚度尺寸的工件定位，适用范围广。

本实用新型进一步设置为：所述定位件包括定位销以及设置在定位销外壁上的橡胶凸纹，所述调节块的侧壁沿其轴向等间距排列有与插槽相连通的定位孔，所述插块的侧壁设有定位槽，所述定位销由外至内依次插入定位孔、定位槽内，所述橡胶凸纹紧贴在定位孔的孔壁、定位槽的槽壁上。