[实用新型]一种改善均匀性的扩散炉进气装置

说明书

本实用新型涉及一种改善均匀性的扩散炉进气装置。它包括有相互连接的炉外管道和炉内管道，两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道包括有至少两根等间距分隔排布的喷气管和连接管，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，所述喷气管的端部为密封设置，喷气管的管体上均匀设有若干个排气孔，各个排气孔的孔径相同。本实用新型整体设置在扩散炉的顶部且水平分布，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，因此炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，这样排出的气体覆盖面积较大，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉进气装置，尤其是涉及一种改善均匀性的扩散炉进气装置。

背景技术

随着可持续发展理念深入人心，太阳能发电产业发展迅速。现有太阳能发电依托于光伏电池板，它的主要材料为硅电池片，而硅电池片在生产工序中需要磷扩散。为此，有人发明了一种名为：“一种光伏硅片石英扩散炉”的专利（中国专利号：201720902786 .5），该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，其中喷淋管即是用于进给保护气体三氯氧磷的进气装置，该喷淋管为直管，在应用于大尺寸硅片的磷化处理中会出现磷化不均的现象，增加硅片的返工率。

发明内容

本实用新型提供了一种呈U型分叉结构的具有改善均匀性的扩散炉进气装置；解决现有技术中存在大尺寸硅片的磷化处理中容易出现磷化不均的问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种改善均匀性的扩散炉进气装置，其特征在于：包括有相互连接的炉外管道和炉内管道，两者为任意形状轮廓的管状物，炉内管道包括有至少两根等间距分隔排布的喷气管和连接管，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，所述喷气管的端部为密封设置，喷气管的管体上均匀设有若干个排气孔，各个排气孔的孔径相同。

三氯氧磷气体通过炉外管道进入炉内管道部分，然后排入扩散炉。本实用新型整体设置在扩散炉的顶部且水平分布，炉外管道与连接管连接，连接管与每根喷气管连通，因此炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，这样排出的气体覆盖面积较大，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

作为优选，所述的喷气管为直线形圆柱管体，各喷气管等长等粗设置，有利于提高扩散炉内的气体均匀度。

作为优选，连接管上也开设有若干个均匀分布的排气孔。

作为优选，所述的连接管与每根喷气管的同侧端部连接，且连接管的轴向与喷气管轴向垂直。

作为优选，炉外管道与连接管的中部连接，且炉外管道轴向与连接管垂直。

作为优选，所述的喷气管长度为150～250cm,喷气管之间的间距为40～60cm，排气孔的间距为30～50cm。

因此，本实用新型相比现有技术具有以下特点：1.炉外管道与连接管连接，连接管与多根喷气管连通，炉外管道内的气体可以均匀的分配给每根喷气管，然后从排气孔排出，扩散炉内的气体均匀性较好，保证了大尺寸硅片扩散后的磷化均匀性。

附图说明

附图1是本实用新型的一种结构示意图；

附图2是本实用新型在扩散炉内的分布示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。