[实用新型]一种智能等离子体清洗系统

说明书

本实用新型公开了一种智能等离子体清洗系统，包括控制器、脉冲电源、电极板、浮子流量计、工艺气体接口、腔体和真空泵；控制器的控制信号输出端与脉冲电源的输入端连接，脉冲电源的输出端与电极板连接；浮子流量计与工艺气体接口连接，且浮子流量计的数据输出端与控制器的数据输入端连接；工艺气体接口设置在腔体外部，在腔体外部设有腔门，且在腔体外部还设置有CF电极法兰、KF接口法兰和活动铰链；CF电极法兰与电极板连接，KF接口法兰设置在CF电极法兰下方等。本实用新型利用触摸控制，能够减少热损伤，清洗高效均匀，较低的处理温度，不存在热损伤和热氧化问题，使用成本低、耗损小、环保性好。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗机技术领域，更为具体地，涉及一种智能等离子体清洗系统。

背景技术

等离子清洗机存在清洗不够均匀，存在热损伤和热氧化，操作繁琐等问题。例如，公开号为CN203155631U的中国专利公开了一种等离子清洗机，由射频发生器、射频线圈、清洗工作舱、电源、真空测量单元、射频输出功率调节单元、进气流量控制单元，抽气、放气单元组成。射频线圈是采用5000mm长，截面为矩形的纯铜片制成，纯铜片的截面矩形宽10mm；厚0.3mm，纯铜片外配有热缩保护套，射频线圈均匀缠绕在Φ200mm；长200mm的纯有机玻璃管上，清洗工作舱套于纯有机玻璃管中，将射频线圈的头尾连接在射频发生器的两只射频管阳极上，射频线圈的中心点连接到电压选择开关处。该方案解决已有等离子清洗机射频功率损失大，射频线圈的最大功率小、清洗效率低，功能单一的问题。但是，与本申请采取的方案不同，且没有解决操作繁琐的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种智能等离子体清洗系统，利用触摸控制，能够减少热损伤，清洗高效均匀，较低的处理温度，不存在热损伤和热氧化问题，使用成本低、耗损小、环保性好。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种智能等离子体清洗系统，包括控制器、脉冲电源、电极板、浮子流量计、工艺气体接口、腔体和真空泵；所述控制器的控制信号输出端与脉冲电源的输入端连接，所述脉冲电源的输出端与电极板连接；所述浮子流量计与工艺气体接口连接，且所述浮子流量计的数据输出端与控制器的数据输入端连接；所述工艺气体接口设置在腔体外部，在腔体外部设有腔门，且在腔体外部还设置有CF电极法兰、KF接口法兰和活动铰链；所述CF电极法兰与电极板连接，所述KF接口法兰设置在所述CF电极法兰下方，所述活动铰链设置在腔门顶角位置；所述真空泵与腔体连接，用于给腔体抽真空。

进一步的，所述工艺气体接口包括VCR气管接头。

进一步的，所述电极板包括上电极板和下电极板。

进一步的，在腔体下方设有支撑架，所述支撑架与腔体连接。

进一步的，在腔体外部设有腔门。

进一步的，在腔体外部设有真空玻璃观察窗。

本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型通过控制器、脉冲电源、电极板、浮子流量计、工艺气体接口、腔体和真空泵等，清洗高效均匀，较低的处理温度，减少了热损伤和热氧化，降低了使用成本、耗损小、环保性好。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的第一结构示意图；

图2为本实用新型的第二结构示意图；

图3为本实用新型的第三结构示意图；