[实用新型]一种真空镀膜机用冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机用冷却装置，包括真空镀膜机、外壳体、冷水管、底座、蓄水箱和循环泵，所述冷水管套接于真空镀膜机的外表面，所述循环泵的顶部固定连接有总进水管，所述蓄水箱的顶部固定连接有总出水管，所述冷水管的底部从右至左依次设置有子进水管和子出水管，所述蓄水箱的一侧设置有液氮管，所述真空镀膜机的表面固定安装有散热片，所述外壳体的表面开设有散热口。该真空镀膜机用冷却装置，通过在真空镀膜机的表面设有若干冷水管，能够对真空镀膜机进行冷却，通过在蓄水箱的侧面设有液氮管，由于液氮能够起到吸热降温作用，故而能够避免蓄水箱内的水在持续循环使用后温度升高，从而提高冷却效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用冷却装置。

背景技术

蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。

真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，但现有的用于真空镀膜机的冷却装置结构都较为单一，冷却效果不够理想，因此，需要一种真空镀膜机用冷却装置。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却装置，解决了上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜机用冷却装置，包括真空镀膜机、外壳体、冷水管、底座、蓄水箱和循环泵，所述真空镀膜机的外表面设置有外壳体，所述外壳体的内壁固定安装有冷水管，所述冷水管套接于真空镀膜机的外表面，所述真空镀膜机的底部设置有底座，所述底座的上表面从左至右依次设置有蓄水箱和循环泵，所述循环泵的顶部固定连接有总进水管，所述蓄水箱的顶部固定连接有总出水管，所述冷水管的底部从右至左依次设置有子进水管和子出水管，所述蓄水箱的一侧设置有液氮管，所述真空镀膜机的表面固定安装有散热片，所述外壳体表面靠近散热片的一侧开设有散热口。

可选的，所述冷水管、子进水管和子出水管的数量均为若干个，若干个所述子进水管的一端均与总进水管固定连接，若干个所述子出水管的一端均与总出水管固定连接。

可选的，所述散热片的材质为铜。

可选的，所述蓄水箱与循环泵之间固定连接有循环管，所述蓄水箱的内部设置有过滤网。

可选的，所述底座上表面的四角处均固定安装有支架，所述支架的顶部与外壳体固定连接。

可选的，所述底座的下表面固定连接有耐磨垫。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却装置，具备以下有益效果：

1、该真空镀膜机用冷却装置，通过在真空镀膜机的表面设有若干冷水管，使用循环泵将蓄水箱内的水循环通入到冷水管内，能够使冷水管内的水吸收真空镀膜机产生的热量，从而对真空镀膜机进行冷却。

2、该真空镀膜机用冷却装置，通过在蓄水箱的侧面设有液氮管，由于液氮能够起到吸热降温作用，故而能够避免蓄水箱内的水在持续循环使用后温度升高，从而提高冷却效果。

3、该真空镀膜机用冷却装置，通过在真空镀膜机的表面设有铜质的散热片，并在外壳体的表面开设散热口，能够进一步为真空镀膜机散热，提高真空镀膜机的散热速率。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；