[实用新型]一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜有效

专利信息
申请号: 201922382653.1 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN211263834U 公开(公告)日: 2020-08-14
发明(设计)人: 王金恒;王宁阳;唐友清 申请(专利权)人: 南京晨锐腾晶激光科技有限公司
主分类号: G02B5/08 分类号: G02B5/08;G02B1/10;H01S3/034
代理公司: 南京天华专利代理有限责任公司 32218 代理人: 李德溅
地址: 211100 江苏省南京市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 二氧化碳 激光器 激光 反射
【权利要求书】:

1.一种用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:该激光反射镜包括镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3),镀膜层(3)由依序设置在过渡层(2)上的第一镀膜层(31)、第二镀膜层(32)、第三镀膜层(33)、第四镀膜层(34)、第五镀膜层(35)、第六镀膜层(36)构成,其中第一镀膜层(31)采用氟化镱制成、第二镀膜层(32)采用硒化锌制成、第三镀膜层(33)采用氟化镱制成、第四镀膜层(34)采用硒化锌制成、第五镀膜层(35)采用氟化镱制成、第六镀膜层(36)采用硒化锌制成,且镀膜层(3)的总厚度为6930nm±90nm。

2.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:所述第一镀膜层(31)的厚度为1520nm±20nm、第二镀膜层(32)的厚度为790nm±10nm、第三镀膜层(33)的厚度为1520nm±20nm、第四镀膜层(34)的厚度为790nm±10nm、第五镀膜层(35)的厚度为1520nm±20nm、第六镀膜层(36)的厚度为790nm±10nm。

3.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:所述的过渡层(2)由依序设置在镜片基材(1)上的镀铬粘结层(21)、镀金反射层(22)和硒化锌粘结层(23)构成。

4.根据权利要求3所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:所述镀铬粘结层(21)的厚度为20nm±1nm,镀金反射层(22)的厚度为200nm±10nm,硒化锌粘结层(23)的厚度为80nm±5nm。

5.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:上述镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3)构成的激光反射镜镜片对波长9.3μm的激光反射率比该镜片对波长10.6μm的激光反射率高1.6%以上。

6.根据权利要求1所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:上述镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3)构成的激光反射镜镜片对波长9.3μm的激光反射率比该镜片对波长10.2μm的激光反射率高1.2%以上。

7.根据权利要求1、5或6任一所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:上述镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3)构成的激光反射镜镜片对波长9.3μm的激光反射率不低于99.91%。

8.根据权利要求1、5或6任一所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:上述镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3)构成的激光反射镜镜片对波长9.6μm的激光反射率不超过99.80%。

9.根据权利要求1、5或6任一所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:上述镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3)构成的激光反射镜镜片对波长10.2μm的激光反射率不超过98.69%。

10.根据权利要求1、5或6任一所述的用于二氧化碳激光器的激光反射镜,其特征在于:上述镜片基材(1)、过渡层(2)和镀膜层(3)构成的激光反射镜镜片对波长10.6μm的激光反射率不超过98.30%。

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