[实用新型]薄膜光波导

权利要求书

1.一种薄膜光波导，包括硅基衬底以及设置在所述硅基衬底上的包层，其特征在于，所述薄膜光波导还包括设置在所述硅基衬底上的光波导芯层，所述光波导芯层设于所述包层之中并且所述光波导芯层折射率高于所述包层的折射率，所述光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于所述双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，所述薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，所述薄膜材料夹层为用以对所述光波导介质薄膜进行热光系数补偿的负热光系数材料。

2.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述负热光系数材料为二氧化钛、氧化锌和镁掺杂氧化锌中的一种。

3.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述负热光系数材料的有效热光系数与所述负热光系数材料的厚度负相关。

4.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述光波导介质薄膜为正热光系数材料。

5.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述光波导介质薄膜为掺杂二氧化硅。

6.如权利要求5所述的薄膜光波导，其特征在于，所述掺杂二氧化硅为2％锗掺杂二氧化硅。

7.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述二维晶格亚波长结构为布拉维晶格结构或准晶格结构。

8.如权利要求7所述的薄膜光波导，其特征在于，所述布拉维晶格结构为正方形或六角形。

9.如权利要求7所述的薄膜光波导，其特征在于，所述准晶格结构为八边形或十边形或十二边形。

10.如权利要求1所述的薄膜光波导，其特征在于，所述二维晶格亚波长结构包括晶格点，所述晶格点为圆形、椭圆形、十字交叉形、六角形、八角形中的一种。