[实用新型]一种单晶炉的水冷热屏结构

说明书

本实用新型涉及单晶炉技术领域，且公开了一种单晶炉的水冷热屏结构，包括水冷热屏本体，所述水冷热屏本体的内部设置有内屏。该单晶炉的水冷热屏结构，通过设置水冷热屏本体，水冷热屏本体通过水道内的循环冷却水快速将水冷热屏本体内壁上的热量带走，形成一个热量快速散发的通道，能够更好地创造一个对结晶有利的温度空间，从而加快晶棒的结晶速度，缩短晶棒的生长时间，提高拉晶效率，通过设置热熔板和导热板，可增加水冷热屏本体内部的降温速度，因热熔板和导热板分别为铝板和铜板，铝板和铜板的降温和吸热效果较好，可增加该结构的冷却速度，使得结晶的生产速度更高，该结构的生产效率也会更高，成本也会有一定的下降。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为一种单晶炉的水冷热屏结构。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料，单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料，单晶炉用水冷热屏结构的作用如下：在单晶硅拉制过程中，通过水冷热屏结构加快晶棒的冷却速度，从而提高拉速，从而降低单晶硅的成本。

目前的单晶生长炉一般采用直筒型水冷套冷却方式，主要还是通过水冷这一途径进行冷却，其缺点是单位时间内通过热辐射散发到水冷套内壁的热量有限，而且不能充分利用氩气将热量带走，使得水冷热屏的效率不够高，故而提出一种单晶炉的水冷热屏结构来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种单晶炉的水冷热屏结构，具备冷却效率高等优点，解决了目前的单晶生长炉一般采用直筒型水冷套冷却方式，主要还是通过水冷这一途径进行冷却，其缺点是单位时间内通过热辐射散发到水冷套内壁的热量有限，而且不能充分利用氩气将热量带走，使得水冷热屏的效率不够高的问题。

(二)技术方案

为实现上述冷却效率高的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉的水冷热屏结构，包括水冷热屏本体，所述水冷热屏本体的内部设置有内屏，水冷热屏本体的外部设置有外屏，所述水冷热屏本体的内壁固定安装有固定环，固定环的顶部固定安装有与内屏固定连接的热熔板，固定环的顶部固定安装有与热熔板固定连接的导热板，所述水冷热屏本体的顶部外侧固定安装有连接体，连接体的顶部左侧活动安装有进水管，连接体的顶部右侧固定安装有出水管，连接体的底部左右两侧均活动安装有贯穿连接体且分别延伸至进水管和出水管内部的安装螺栓，所述连接体的内部固定安装有与水冷热屏本体固定连接的支撑管。

优选的，所述水冷热屏本体为高纯不锈钢，所述安装螺栓与进水管均和出水管螺纹连接。

优选的，所述水冷热屏本体与连接体之间为焊接，所述水冷热屏本体、热熔板与导热板的内壁均设置有吸热涂层。

优选的，所述热熔板为铝板，且导热板为铜板，所述热熔板与导热板均为环形板。

优选的，所述热熔板与导热板的厚度相同，且热熔板与导热板的厚度均在零点二毫米到二毫米之间。

优选的，所述支撑管的数量不少于两个，且支撑管呈倾斜安装。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶炉的水冷热屏结构，具备以下有益效果：