[实用新型]多级洁净系统

说明书

本实用新型公开了一种多级洁净系统，包括第一洁净机构和第二洁净机构，所述第一洁净机构包括风淋室、与所述风淋室连通的洁净室；所述第二洁净机构位于洁净室内，所述第二洁净部包括帘幕部和除尘部，所述帘幕部包括支架、围设在支架上的多个帘幕件，所述支架和帘幕部能够形成半密封空间，所述半密封空间的下端具有与所述洁净室连通的缺口；所述除尘部包括负离子风扇，所述负离子风扇用于产生朝向所述支架下端流动的洁净气流，所述第一洁净机构的洁净等级小于所述第二洁净机构的洁净等级。本实用新型至少包括以下优点：采用第一洁净机构和第二洁净机构配合使用，在满足整体洁净度要求的同时，能够满足局部高洁净度的要求，且对接方便，结构优化。

技术领域

本实用新型涉及了洁净技术领域，具体的是一种多级洁净系统。

背景技术

本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息，而不构成现有技术。

洁净室是目前常用的一种除尘设备，其常用于例如半导体、科学研究设备、无尘生产车间等环境，其具有低水平的环境污染物，例如灰尘、空气微生物、气溶胶客气等污染物，更确切地说，洁净室具有可控的污染水平。

但是目前的洁净系统基本只能作为单级使用，为了配合局部工序高洁净度的要求，需要对整个系统进行洁净度的调节，工程成本大，且周期长。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷，本实用新型实施例提供了一种多级洁净系统，其采用第一洁净机构和第二洁净机构配合使用，在满足整体洁净度要求的同时，能够满足局部高洁净度的要求，且对接方便，结构优化。

本申请实施例公开了：一种多级洁净系统，包括第一洁净机构和第二洁净机构，

第一洁净机构，所述第一洁净机构包括风淋室、与所述风淋室连通的洁净室；

第二洁净机构，所述第二洁净机构位于所述洁净室内，所述第二洁净部包括帘幕部和除尘部，所述帘幕部包括支架、围设在所述支架上的多个帘幕件，位于所述支架至少一个侧壁上的所述帘幕件的下端高于所述支架的下端，从而能够形成半密封空间，所述半密封空间的下端具有与所述洁净室连通的缺口；所述除尘部包括负离子风扇，所述负离子风扇用于产生朝向所述支架下端流动的洁净气流，所述洁净气流能够通过所述缺口流动至所述洁净室内，从而使得所述半密封空间与洁净室之间形成循环气流，

其中，所述第一洁净机构的洁净等级小于所述第二洁净机构的洁净等级。

进一步地，位于所述支架侧壁上的所述帘幕件在上下方向上延伸的长度可调节，从而形成用于对接设备的对接口。

进一步地，所述帘幕件包括分别沿上下方向延伸的第一本体和第二本体，所述第一本体和所述第二本体依次设置且可拆卸连接。

进一步地，所述第一本体的下端处设置有子贴，所述第二本体的上端处设置有能够粘接所述子贴的母贴。

进一步地，包括滚轮部，所述滚轮部包括多个固定设置在所述支架下端处的自锁滚轮。

进一步地，所述负离子风扇设置在所述支架的上端处，且沿上下方向移动设置。

进一步地，每个所述支架的侧壁对应多个沿水平方向依次设部分重叠设备的所述帘幕件。

进一步地，所述帘幕件采用透明软塑料材质制成。

进一步地，所述负离子风扇采用增压式负离子风扇。

借由以上的技术方案，本实用新型的有益效果如下：