[实用新型]一种防静电监测系统

说明书

本实用新型涉及一种防静电监测系统，它包括第一线路(1)、第二线路(2)和接地线路(3)，所述第一线路(1)上设置有切割电机(4)和第一电阻R1，所述第二线路(2)上设置有切割平台(5)和第二电阻R2，所述接地线路(3)上设置有接地电阻R，所述第一线路(1)和第二线路(2)相互并联后与接地线路(3)相串联。本实用新型能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控，一旦发生开路、短路等异常故障，可立即通知操作人员及时处理，避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产，对产品质量造成不良影响。

技术领域

本实用新型涉及一种防静电监测系统，主要用于集成电路产品切割加工的自动生产设备，属于半导体封装设备技术领域。

背景技术

切割设备是集成电路产品分离工序的主流加工设备，集成电路产品被固定在加工平台上，高速旋转的刀具通过进刀、走刀对产品进行切割加工。在加工过程中电子纯水不断被喷射到刀具和产品的加工面上，用以降温和带走碎屑。由于水分子本身分解产生的OH－及H+。在纯水和固体的界面上，选择性吸附固体表面纯水中的OH离子，H+在纯水中扩散形成电双层，之后去除纯水时，界面上产生电荷分离，纯水带+电，固体表面带-电，水的纯度越高带电量越大。理论上来说，纯水的导电率在25℃下为5.48μS/m，比造成流动带电的绝缘性液体的导电率还大5～6位。因此，纯水的流动带电问题不大。但是，随着近年来半导体元件的超高聚集化，对清洗过程中使用的纯水纯度要求更加严格，半导体产品由于纯水带电，从而影响到产品成品率的现象也成为一个问题。

为消除静电荷的积累对产品造成的风险，目前厂内在道具和平台上都设置了防静电接地线路，串接了一定阻值的电阻，使得静电敏感的产品在加工过程中得到可靠的保护。但考虑到设备运行过程中可能会产生一些非常隐蔽的故障，如切割的金属残留物掉落与金属平台与机架间形成对地短路，使得电阻的作用失效而使产品失去保护。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种防静电监测系统，它能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控，一旦发生开路、短路等异常故障，可立即通知操作人员及时处理，避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产，对产品质量造成不良影响。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种防静电监测系统，它包括第一线路、第二线路和接地线路，所述第一线路上设置有切割电机和第一电阻R1，所述第二线路上设置有切割平台和第二电阻R2，所述接地线路上设置有接地电阻R，所述第一线路和第二线路相互并联后与接地线路相串联，所述监测系统还包括监测器，所述监测器通过第三线路与第一线路相连接，所述监测器通过第四线路与第二线路相连接，所述监测器通过第五线路与接地线路相连接。

优选的，所述第三线路连接至切割电机与第一电阻R1之间。

优选的，所述第四线路连接至切割平台与第二电阻R2之间。

优选的，所述第五线路连接至第一线路和第二线路并联位置处。

优选的，所述接地电阻R的电阻阻值为33KΩ。

优选的，所述第一电阻R1和第二电阻R2的电阻阻值为150KΩ。

优选的，所述监测器与设备主机相连接。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型一种防静电监测系统，它能够对半导体切割设备的防静电接地线路实现实时监控，一旦发生开路、短路等异常故障，可立即通知操作人员及时处理，避免造成设备在失去防静电接地系统的保护下继续生产，对产品质量造成不良影响。

附图说明

图1为本实用新型一种防静电监测系统的结构示意图。

图2为防静电接地线路正常状态的示意图。