[实用新型]飞行探测器用探头以及飞行探测器

权利要求书

1.一种飞行探测器用探头，其特征在于，具备：

探头主体部；

多个高频探针，用于测定具备接地导体和信号导体的被测定物的高频特性；以及

A/D变换部，将从所述高频探针输出的测定信号变换成数字信号，

所述多个高频探针以各自不同的端子配置具备能够与所述接地导体接触的接地端子、以及能够与所述信号导体接触的信号端子，

所述多个高频探针被保持成能够进行切换，

所述多个高频探针与所述A/D变换部安装于所述探头主体部，以便在所述切换前后，电学上的长度及/或物理上的长度固定。

2.根据权利要求1所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述A/D变换部经由开关而选择性地连接到所述多个高频探针的任一个。

3.根据权利要求1所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述A/D变换部设置于所述多个高频探针的每一个。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述飞行探测器用探头还具备：

驱动部，使所述探头主体部移动以便变更与所述被测定物接触的高频探针。

5.根据权利要求4所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述探头主体部对所述多个高频探针进行保持，以使所述多个高频探针中的与所述被测定物接触的高频探针最接近于所述被测定物。

6.根据权利要求1所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述多个高频探针的形状各自不同。

7.根据权利要求4所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述驱动部被构成为使所述探头主体部绕轴旋转，

所述多个高频探针在所述探头主体部的外周面在所述探头主体部的旋转方向上隔开间隔地安装。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的飞行探测器用探头，其特征在于，

所述飞行探测器用探头还具备：

第一信号处理部，被安装于所述探头主体部，以便相对于所述多个高频探针以及所述A/D变换部而言电学上的长度及/或物理上的长度固定，并进行使由所述A/D变换部变换后的数字信号的数据量减少的处理；以及

挠性电缆，被输入从所述第一信号处理部输出的数字信号。

9.一种飞行探测器，其特征在于，具备：

多个权利要求1至8中任一项所述的飞行探测器用探头；以及

第二信号处理部，被输入从多个所述飞行探测器用探头输出的数字信号。

10.根据权利要求9所述的飞行探测器，其特征在于，

所述飞行探测器还具备：

基准信号源，向多个所述飞行探测器用探头的每一个输出基准信号。