[实用新型]一种拼接型金属靶材

说明书

本实用新型公开了一种拼接型金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个相同的L型边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的L型边正放，另一金属靶材片的L型边倒扣在正放的金属靶材片的L型边上。优点：本实用新型的金属靶材采用L型拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过凹槽和凸起的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。

技术领域

本实用新型涉及一种拼接型金属靶材，属于靶材技术领域。

背景技术

金属靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，为了扩大靶材的尺寸往往都是将若干靶材片拼接在背板上，在拼接时采用的是将若干具有一定厚度的长方形块靶材片边对边拼接到一块，而这种拼接方式会有缝隙，背板被击穿的风险大，如果背板被击穿，会有渗水的问题，从而影响溅射效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种拼接型金属靶材。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种拼接型金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个相同的L型边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的L型边正放，另一金属靶材片的L型边倒扣在正放的金属靶材片的L型边上。

进一步的，所述金属靶材片有五个，分别为依次通过L型边拼接为一整块的第一金属靶材片、第二金属靶材片、第三金属靶材片、第四金属靶材片和第五金属靶材片。

进一步的，所述第二金属靶材片、第三金属靶材片和第四金属靶材片均设有两个L型边，其中第二金属靶材片和第四金属靶材片的L型边正放；所述第一金属靶材片和第五金属靶材片均只设有一个L型边；且第三金属靶材片、第一金属靶材片和第五金属靶材片的L型边倒扣在与各自相邻的金属靶材片的L型边上。组成一个完整的金属靶材。

进一步的，两个所述L型边拼接后的金属靶材上表面齐平。保证金属靶材的整体平整性。

进一步的，正放的所述金属靶材片的L型边设有等间距设置的若干竖直向上的凸起，倒扣的所述金属靶材片的L型边设有与所述凸起一一对应的用于插入凸起的凹槽。能够将相邻靶材进行固定，防止错移。

进一步的，所述凸起为上小下大的圆台形，所述凹槽与所述凸起的形状相同，所述凸起恰好填满凹槽。由于凹槽的下端比较大，而凸起的上端比较小，从而方便将凸起插入凹槽中，且恰好能够填满凹槽，保证整个靶材内部无缝隙。

本实用新型所达到的有益效果：

本实用新型的金属靶材采用L型拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过凹槽和凸起的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是放大后的正放的金属靶材片的L型边结构示意图；

图3是放大后的倒放的金属靶材片的L型边结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。