[实用新型]一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置

权利要求书

1.一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置，其包括底座，其特征在于：其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、夹持机构和收卷装置，所述夹持机构分别邻近所述放卷装置和所述收卷装置，所述夹持机构之间为柔性印刷电路板待曝光区域，所述第一曝光系统和所述第二曝光系统位于所述柔性印刷电路板的两侧。

2.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于：所述夹持机构包括两个夹持辊，所述两个夹持辊之间形成所述柔性印刷电路板通过的通道。

3.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于：所述收卷装置和所述放卷装置均可顺时针旋转和逆时针旋转，在两个方向移动所述柔性印刷电路板。

4.根据权利要求3所述的光刻装置，其特征在于：所述收卷装置和所述放卷装置旋转方向相同，所述收卷装置进行卷入操作，所述放卷装置进行卷出操作，所述收卷装置进行卷出操作，所述放卷装置进行卷入操作。

5.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于：所述放卷装置、收卷装置和所述夹持机构一体移动。

6.根据权利要求1所述的光刻装置，其特征在于：所述第一曝光系统和所述曝光系统对所述柔性印刷电路板单次曝光区域覆盖所述柔性印刷电路板的全部曝光区域。