[实用新型]一种高效射频等离子体源发生装置

权利要求书

1.一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：包括能量耦合器、等离子产生器、进气结构、离子束调节器、离子束扩散区、束流聚焦区和真空腔体；所述等离子产生器连接所述能量耦合器；所述进气结构连接所述等离子产生器；所述等离子产生器连接所述离子束调节器；所述离子束调节器连接所述离子束扩散区；所述束流聚焦区连接所述离子束扩散区；所述真空腔体连接所述束流聚焦区。

2.根据权利要求1所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：还包括真空密封隔离法兰；所述真空密封隔离法兰O形密封所述等离子产生器与所述进气结构的连接处。

3.根据权利要求1所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：还包括真空密封法兰；所述真空密封法兰O型密封离子束扩散区。

4.根据权利要求3所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：还包括真空隔离阀；所述真空隔离阀连接所述离子束扩散区。

5.根据权利要求1所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：所述能量耦合器和所述等离子产生器的连接处为向能量耦合器凸出的半椭球状。

6.根据权利要求1所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：所述等离子产生器的底部为封闭的。

7.根据权利要求2所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：所述等离子产生器为中空管状芯柱结构。

8.根据权利要求7所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：所述等离子产生器在与所述真空密封隔离法兰连接处口径缩小。

9.根据权利要求1-权利要求8任一所述的一种高效射频等离子体源发生装置，其特征在于：所述等离子产生器的外径为6-40mm、内径为4-38mm、长度为10-200mm。