[实用新型]一种氢化脱氢炉用抽真空系统

权利要求书

1.一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于，包括：反应炉(1)、第一输气管路(2)、扩散泵(3)、第二输气管路(4)、第一输气支路(5)、第一罗茨泵(6)、第二罗茨泵(7)、第二输气支路(8)、机械泵(10)、气量维持管路(11)和维持泵(12)；

反应炉(1)的出气口通过第一输气管路(2)与扩散泵(3)的进气口相连通，第二输气管路(4)一端与扩散泵(3)的上出气口相连通，第二输气管路(4)另一端与机械泵(10)的进气口相通，第二输气管路(4)上沿着输气方向依次设置有预抽阀(21)、微抽阀(22)、第一罗茨泵(6)和第二罗茨泵(7)；

扩散泵(3)的上出气口与微抽阀(22)的侧进气口之间通过第一输气支路(5)相连通，扩散泵(3)的下出气口与第一罗茨泵(6)的进气口之间通过第二输气支路(8)相连通，所述维持泵(12)的进气口通过气量维持管路(11)与第二输气支路(8)中部相连通。

2.根据权利要求1所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述反应炉(1)的出气口处设置有过滤网(25)。

3.根据权利要求2所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述过滤网(25)沿着反应炉(1)的出气方向依次设置有下层滤网、中间滤网和上层滤网。

4.根据权利要求3所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述下层滤网的筛目数为100目，中间滤网的筛目数为200目，上层滤网的筛目数为400目。

5.根据权利要求1所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述气量维持管路(11)与第二输气支路(8)的管路接口处设置有维持阀(24)。

6.根据权利要求5所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述第二输气支路(8)上还设置有前置阀(23)，所述前置阀(23)设置在维持阀(24)的出气口处。

7.根据权利要求1至6任一权利要求所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述第一输气管路(2)上还设置有截止阀(26)，所述扩散泵(3)的顶部设置有主阀门(27)。

8.根据权利要求7所述的一种氢化脱氢炉用抽真空系统，其特征在于：所述微抽阀(22)为三通阀。