[实用新型]搬运装置有效
申请号: | 201922407148.8 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN210805727U | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 徐常恺 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 搬运 装置 | ||
1.一种搬运装置,其特征在于,包括运输机构、架设在所述运输机构上的扩展框架;所述扩展框架上配置有至少两个物料载盘;所述至少两个物料载盘沿竖直方向分布,所述至少两个物料载盘中存在两个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠,且当所述至少两个物料载盘仅包括两个所述物料载盘时,两个所述物料载盘在所述竖直方向上部分交叠。
2.根据权利要求1所述的搬运装置,其特征在于,任一所述物料载盘与至少一个所述物料载盘在所述竖直方向上交叠。
3.根据权利要求2所述的搬运装置,其特征在于,沿所述竖直方向任意相邻的两个所述物料载盘中,上方的所述物料载盘相对于下方的所述物料载盘向同一预设方向错开。
4.根据权利要求1所述的搬运装置,其特征在于,所述扩展框架包括支撑框架、四个脚轮和电气柜;所述支撑框架包括四个支撑柱和固定于所述支撑柱顶部的支撑板,四个所述脚轮分别连接于所述支撑框架的四个所述支撑柱的底部,所述运输机构固定于所述支撑板的底部,所述电气柜垂直固定于所述支撑板的顶部的靠近所述搬运装置正向移动方向的一侧;
所述物料载盘设置在所述电气柜的远离所述正向移动方向的侧面。
5.根据权利要求4所述的搬运装置,其特征在于,在水平面内,所述搬运装置沿垂直于所述正向移动方向的宽度小于0.7米。
6.根据权利要求5所述的搬运装置,其特征在于,在水平面内,所述电气柜沿垂直于所述正向移动方向的宽度,小于或等于所述支撑板沿垂直于所述正向移动方向的宽度。
7.根据权利要求4所述的搬运装置,其特征在于,沿所述竖直方向,相邻两个所述物料载盘之间的垂直距离大于待搬运物料的垂直高度。
8.根据权利要求4所述的搬运装置,其特征在于,还包括机械臂,所述机械臂固定于所述电气柜的顶部。
9.根据权利要求8所述的搬运装置,其特征在于,所述电气柜的顶部距离所述物料载盘的最短垂直距离大于或等于待搬运物料的垂直高度。
10.根据权利要求1所述的搬运装置,其特征在于,所述运输机构包括自动引导小车。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造