[实用新型]应用于探针台的探针卡安装装置

说明书

本实用新型公开了一种应用于探针台的探针卡安装装置，其涉及一种探针台的辅助装置，旨在解决现有技术中无法安装矩形状的探针卡的问题，其技术方案要点包括设置在探测台主体侧壁上的安装槽，所述安装槽内设有支撑台，所述支撑台上设有容纳槽，所述容纳槽内设有用于支撑探针卡的两定位组件，两所述定位组件相对设置，所述容纳槽内设有用于调节两定位组件相对运动的调距组件，所述容纳槽的槽底壁上设有供探针卡安装的安装空间；在测试前，将支撑台安装在安装槽内，根据探针卡的形状，通过调距组件调节两定位组件之间的距离，再利用定位组件夹持固定探针卡的两侧，以此可以夹持不同宽度的矩形探针卡。

技术领域

本实用新型涉及一种探针台的辅助装置，更具体地说，它涉及一种应用于探针台的探针卡安装装置。

背景技术

探针台又称中测台，探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。通常，在晶圆制程完成后，对晶圆进行晶片允收测试。通过探针卡上的探针与晶圆芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡通常需要固定在探针台上，探针卡的取放工作显得非常重要。

授权公告号为CN205067532U的中国专利公开了一种探针台，包括探针台主体和探针卡放置台，其中，所述探针台主体上开设有圆槽，所述探针卡放置台设置在所述圆槽中，所述探针卡放置台中央和圆槽底部中央均开设有贯穿孔，所述探针卡放置台底部连接升降控制装置。本实用新型的探针卡放置台在升降控制装置的作用下，在探针台主体内部进行升降运动，升起后可进行取放探针卡操作，使探针卡具有更大的接触空间，方便快捷地取放探针卡，下降后将放置好的探针卡固定在探针卡放置台上表面和圆槽内，便于对探针卡进行正常的测试。本实用新型节省了取放探针卡的时间和精力，具有快速、便捷取放探针卡的有益效果。

当在使用现有技术中的探针台时，将探针卡放入圆槽中进行安装，但是在实际应用中，由于探针卡的不仅有圆形，还有矩形，所以当需要安装矩形的探针卡时，此时则无法放入圆槽中进行安装，有待改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种应用于探针台的探针卡安装装置，其优势在于可以安装矩形的探针卡。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种应用于探针台的探针卡安装装置，包括设置在探测台主体侧壁上的安装槽，所述安装槽内设有支撑台，所述支撑台上设有容纳槽，所述容纳槽内设有用于支撑探针卡的两定位组件，两所述定位组件相对设置，所述容纳槽内设有用于调节两定位组件相对运动的调距组件，所述容纳槽的槽底壁上设有供探针卡安装的安装空间。

通过采用上述技术方案，在测试前，将支撑台安装在安装槽内，根据探针卡的形状，通过调距组件调节两定位组件之间的距离，再利用定位组件夹持固定探针卡的两侧，以此可以夹持不同宽度的矩形探针卡。

进一步地，所述容纳槽内设有支撑架；

所述定位组件包括转动设置在支撑架上的两丝杠，两所述丝杠的轴线共线，两所述丝杠的螺纹旋向相反，所述丝杠的侧壁上螺纹连接有连接杆，所述丝杠的相对端壁上均设有从动锥轮，所述支撑架上设有与从动锥轮啮合的主动锥轮，所述主动锥轮同轴设有转动杆；

所述容纳槽的内侧壁上且沿丝杠的轴向设有滑槽，所述连接杆远离丝杠的一端伸入滑槽内，所述连接杆远离丝杠的一端设有在滑槽内滑移的滑块。

通过采用上述技术方案，当在固定探针卡前，根据探针卡的宽度，将转动杆转动，带动主动锥轮转动，从而驱动从动锥轮转动，继而带动丝杠转动，通过滑块在滑槽内滑移，两连接杆从而可以相对运动或者相反运动，以此可以调节两连接杆之间的距离，有利于适应不同宽度的探测卡。