[实用新型]一种高质量金刚石生长托盘和生长系统

权利要求书

1.一种高质量金刚石生长托盘，其特征在于，包括上基板台和下基板台，所述上基板台具有若干个通孔；所述通孔贯穿所述上基板台；所述下基板台具有下基板和若干凸柱，所述凸柱与所述通孔一一对应。

2.根据权利要求1所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述通孔具有第一孔部和第二孔部，所述第一孔部为倒圆台或倒锥台形，所述第二孔部为横截面与所述第一孔部的地面形状相同的柱体。

3.根据权利要求2所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述通孔的内表面和所述凸柱的外表面为平滑设计。

4.根据权利要求3所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述凸柱与所述第二孔部的形状相同，且所述凸柱与所述第二孔部的横截面相同，高度小于所述通孔的高度1-2mm。

5.根据权利要求2所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述通孔的所述第一孔部的侧面与所述上基板台的上平面之间的角度为0-90°。

6.根据权利要求1所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述上基板台具有上基台，所述上基台为圆台形，若干所述通孔都设置在所述上基台上。

7.根据权利要求6所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述上基台的侧面与所述上基板台的表面之间的角度为0-90°。

8.根据权利要求7所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述上基板台的表面通过喷砂进行粗糙化处理。

9.根据权利要求1所述的高质量金刚石生长托盘，其特征在于，所述下基板台固定装设在水冷台上。

10.一种高质量金刚石生长系统，其特征在于，使用权利要求1-9任一所述的托盘。