[实用新型]一种长晶装置

权利要求书

1.一种长晶装置，其包括坩埚、保温层、炉体和加热件，其特征在于，

所述保温层包括至于坩埚上方的上保温层组，所述上保温层组设置测温孔，所述上保温层组包括共中心轴的第一上保温层和第二上保温层，所述第一上保温层设置第一开口，所述第二上保温层设置第二开口，所述测温孔使坩埚内形成盛放原料的低温区和设置籽晶的高温区；

还包括旋转调节机构，所述旋转调节机构旋转所述第一上保温层和/或第二上保温层，以调节所述第一开口和第二开口形成的测温孔的横截面积大小，进而调节长晶过程中坩埚内轴向温度梯度和径向温度梯度。

2.根据权利要求1所述的长晶装置，其特征在于，所述第一开口和第二开口共中心设置；

所述第一开口与所述第二开口发生相对旋转至最小重合位置形成测温孔的最小横截面积；

所述第一开口与所述第二开口发生相对旋转至最大重合位置形成测温孔的最大横截面积。

3.根据权利要求1所述的长晶装置，其特征在于，所述第一开口和第二开口为中心对称形状。

4.根据权利要求3所述的长晶装置，其特征在于，所述第一开口和第二开口的形状相同。

5.根据权利要求4所述的长晶装置，其特征在于，所述第一开口和第二开口的形状选自四角形、六角形和八角形中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的长晶装置，其特征在于，所述旋转调节机构包括第一电机、旋转轴和第一连接件，所述第一连接件与所述第一上保温层和/或第二上保温层连接，第一连接电机通过旋转轴和第一连接件带动所述第一上保温层和/或第二上保温层围绕所述共中心轴转动。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的长晶装置，其特征在于，还包括升降调节机构；

所述升降调节结构包括第二电机、升降杆和第二连接件，所述第二连接件与所述第一上保温层和/或第二上保温层连接，第二连接电机通过升降杆和第二连接件带动所述第一上保温层和/或第二上保温层沿所述共中心轴升降；

所述保温层包括侧保温层，所述上保温层组的升降的高度不高于所述侧保温层的高度。

8.根据权利要求7所述的长晶装置，其特征在于，所述上保温层组包括的不发生相对旋转的多个上保温层之间通过卡槽和卡柱配合连接；

升降分离设置配合连接部分的所述上保温层，升降的高度不高于所述卡柱的高度。

9.根据权利要求1-6所述中任一项的长晶装置，其特征在于，所述加热件为加热线圈组，所述加热线圈组围绕所述坩埚的侧壁设置，

所述加热线圈组包括与所述低温区对应设置的第一线圈组和，与所述高温区对应设置的第二线圈组，

沿自原料至籽晶的方向，所述第二线圈组的内径增大。

10.根据权利要求9所述的长晶装置，其特征在于，所述第一线圈组的内径相同。