[实用新型]MEMS换能器

权利要求书

1.一种MEMS换能器，其特征在于，所述MEMS换能器包括：

换能器基板，所述换能器基板限定孔；

隔膜，所述隔膜具有第一侧和第二侧，所述第一侧联接到所述换能器基板并且设置在所述孔上方；以及

第一加强构件，所述第一加强构件附接到所述隔膜，所述第一加强构件包括从所述孔的周边向内延伸的多个指状物。

2.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，所述隔膜由介电材料制成，所述第一加强构件联接到所述隔膜的所述第二侧，所述MEMS换能器还包括第二加强构件，所述第二加强构件靠近所述第二侧的中心区域联接到所述第二侧，所述第二加强构件包括朝向所述孔的所述周边向外延伸的多个第二指状物，所述第一加强构件和所述第二加强构件间隔开且彼此不接触，并且所述第二加强构件由导电材料制成。

3.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，所述指状物是三角形的。

4.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，每个指状物的侧面向外弯曲。

5.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，每个指状物的侧面向内弯曲。

6.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，所述指状物的长度大于所述第一加强构件的厚度。

7.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，所述指状物的宽度在所述指状物的长度的25％至100％之间的范围内。

8.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其特征在于，所述第一加强构件的厚度在所述隔膜的厚度的50％至200％之间的范围内。

9.根据权利要求1或2所述的MEMS换能器，其特征在于，所述MEMS换能器还包括背板，所述背板限定多个开口；所述背板附接到所述换能器基板；所述背板定向为基本上平行于所述隔膜并且与所述隔膜偏离，使得在所述背板与所述隔膜之间形成空腔；所述背板包括靠近所述背板的中心区域的导电电极；并且所述导电电极包括第三加强构件，所述第三加强构件具有从所述导电电极的中心区域向外延伸的多个第三指状物。

10.根据权利要求1或2所述的MEMS换能器，其特征在于，所述MEMS换能器与麦克风组件组合，所述麦克风组件包括壳体，所述壳体包括基部、盖和端口，所述壳体限定封闭容积；并且

所述MEMS换能器设置在所述封闭容积中，所述隔膜与所述端口流体连通。