[实用新型]一种高精度全金属密封真空直线驱动器

说明书

本实用新型公开了一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆、波纹管和小轴，所述驱动杆的外表面套接有铜套，且铜套的左端面安装有卡簧一，所述波纹管安装于铜套的右端面，且波纹管的外表面设置有螺母管，所述波纹管的右端面焊接有波纹管座，且波纹管座的内部安装有卡簧二，所述卡簧二的右侧设置有轴承一，所述波纹管座的右端面安装有螺钉，所述小轴套接于轴承一的内侧，且小轴右端口的外表面套接有轴承二，所述轴承二的外表面安装有螺杆，且螺杆的外侧安装有。该真空直线驱动器的主要特点是采用高精度的全金属密封代替传统的橡胶密封圈动态密封，可以使得该装置可以使用在高温和低温的环境下，具有较强的适用能力和使用的寿命。

技术领域

本实用新型涉及物理气相沉积技术领域，具体为一种高精度全金属密封真空直线驱动器。

背景技术

真空直线驱动器就是一种应用广泛的真空功能装置，其功能是将真空腔室外部的受力驱动传递到真空腔室内部。传统的真空旋转导入装置多是采用橡胶密封圈动密封的设计方式。动密封中使用橡胶密封圈，是靠给定的拉伸和压缩变形来保证密封性能的，为了减少摩擦阻力，通常压缩量比固定密封小。

目前，橡胶圈的材质和使用特型给此类装置带来不可避免的问题，一是使用环境温度有限，高温环境会熔化，低温环境会硬化，二是使用寿命短，频繁摩擦极易磨损，三是运动阻力大，橡胶密封圈的形变挤压带来很大的摩擦阻力，四是驱动调节无法直观知道真空腔体内部驱动杆的伸缩距离，为此，我们提出一种高精度全金属密封真空直线驱动器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高精度全金属密封真空直线驱动器，以解决上述背景技术中提到的橡胶圈的材质和使用特型给此类装置带来不可避免的问题，一是使用环境温度有限，高温环境会熔化，低温环境会硬化，二是使用寿命短，频繁摩擦极易磨损，三是运动阻力大，橡胶密封圈的形变挤压带来很大的摩擦阻力，四是驱动调节无法直观知道真空腔体内部驱动杆的伸缩距离的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高精度全金属密封真空直线驱动器，包括驱动杆、波纹管和小轴，所述驱动杆的外表面套接有铜套，且铜套的左端面安装有卡簧一，所述波纹管安装于铜套的右端面，且波纹管的外表面设置有螺母管，所述波纹管的右端面焊接有波纹管座，且波纹管座的内部安装有卡簧二，所述卡簧二的右侧设置有轴承一，所述波纹管座的右端面安装有螺钉，所述小轴套接于轴承一的内侧，且小轴右端口的外表面套接有轴承二，所述轴承二的外表面安装有螺杆，且螺杆的外侧安装有，所述螺杆的右端面贯穿有螺丝。

优选的，所述螺母管的左端面固定有法兰，且波纹管与驱动杆之间的连接方式为焊接连接，所述法兰的右端面与波纹管之间的连接方式为焊接连接。

优选的，所述波纹管的右端面通过与波纹管座之间的焊接连接构成密封结构，且波纹管座的右端面贴合有挡圈，所述波纹管座与挡圈通过螺钉的螺纹连接构成可拆卸连接。

优选的，所述小轴与卡簧二的接触位置呈凹陷型结构，且卡簧二与轴承一均贯穿于波纹管座的内部。

优选的，所述轴承二与螺杆通过螺丝的螺纹连接相对固定，且小轴与手柄之间的连接方式为固定连接。

优选的，所述手柄和螺母管的外表面均设置有刻度，且手柄与螺母管之间的连接方式为套接连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该装置采用高精度的全金属密封代替传统的橡胶密封圈动态密封，可以使得该装置可以使用在高温和低温的环境下，具有较强的适用能力和使用的寿命，进而使得该驱动装置的使用更加持久稳定；

2.该装置通过采用套接的驱动结构相较于传统的橡胶密封圈动态密封，极大降低了摩擦力，具有较小的磨损和较小的运动阻力，这样就提高了驱动伸缩的稳定性，内部结构不易发生损坏，便于使用。