[实用新型]一种四氯化硅尾气直冷回收装置

权利要求书

1.一种四氯化硅尾气直冷回收装置，其特征在于：包括装有液体四氯化硅的冷却吸收罐(1)和通过循环泵连接用于冷却所述冷却吸收罐(1)内液体四氯化硅的制冷机组(2)；

还包括尾气分配台(3)和与所述尾气分配台(3)连通的热交换罐(4)，所述热交换罐(4)内装有低温的液体四氯化硅，所述热交换罐(4)顶部设有气相四氯化硅出口与冷却吸收罐(1)顶部的气相四氯化硅入口连通，所述冷却吸收罐(1)底部设有液体四氯化硅出口与热交换罐(4)连通，所述热交换罐(4)与液体四氯化硅收集罐(5)连通，所述冷却吸收罐(1)顶部还设有四氯化硅尾气出口。

2.根据权利要求1所述一种四氯化硅尾气直冷回收装置，其特征在于：所述制冷机组(2)为可将所述冷却吸收罐(1)内液体四氯化硅冷却至-10～－20℃的制冷机组。

3.根据权利要求1所述一种四氯化硅尾气直冷回收装置，其特征在于：所述热交换罐(4)内装有的低温液体四氯化硅的温度为-5～－10℃。

4.根据权利要求1所述一种四氯化硅尾气直冷回收装置，其特征在于：所述热交换罐(4)与液体四氯化硅收集罐(5)之间的液体管路上设有阀门组件。

5.根据权利要求1所述一种四氯化硅尾气直冷回收装置，其特征在于：所述冷却吸收罐(1)与热交换罐(4)之间的液体管路上设有阀门组件。

6.根据权利要求1所述一种四氯化硅尾气直冷回收装置，其特征在于：所述冷却吸收罐(1)与制冷机组(2)之间设有阀门组件。