[实用新型]一种硅片去胶装置有效
| 申请号： | 201922425131.5 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211707536U | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈正;刘昭;周亮亮 | 申请（专利权）人： | 江苏国源激光智能装备制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 223800 江苏省宿迁市宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
1.一种硅片去胶装置，底座本体(1)，其特征在于：所述底座本体(1)上部具有污水槽(2)和气室(3)，所述底座本体(1)一侧设置有污水排水管(4)和真空发生器(5)，所述污水排水管(4)与所述污水槽(2)相连通，所述真空发生器(5)与所述气室(3)相连通，所述污水槽(2)和所述气室(3)的两侧设置有支撑板(6)，所述气室(3)上部设置有真空吸附模板(7)，所述真空吸附模板(7)上部具有真空吸附孔(8)，所述真空吸附模板(7)与所述支撑板(6)之间设置有固定板(9)，所述支撑板(6)设置有第一调节螺栓(10)，所述第一调节螺栓(10)穿过支撑板(6)连接至所述固定板(9)，所述支撑板(6)顶部滑动连接有横梁(11)，所述横梁(11)上部设置有升降板(12)，所述升降板(12)中间设置有气缸(13)，所述气缸(13)穿过所述横梁(11)和所述升降板(12)连接有去胶滚筒(14)，所述升降板(12)两端设置有第二调节螺栓(15)，所述第二调节螺栓(15)穿过所述升降板(12)与所述横梁(11)相连接，所述支撑板(6)两侧自上而下依次设置有溶解液进口管(16)、清洗水进口管(17)和热风进口管(18)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片去胶装置，其特征在于：所述支撑板(6)位于所述气室(3)的一端设置有挡板(19)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片去胶装置，其特征在于：所述溶解液进口管(16)、所述清洗水进口管(17)和所述热风进口管(18)都各自至少设置有三个。
4.根据权利要求1所述的一种硅片去胶装置，其特征在于：所述真空吸附模板(7)两端设置有密封板(20)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片去胶装置，其特征在于：所述真空发生器(5)吸附压力为所述溶解液进口管(16)处、所述清洗水进口管(17)处和所述热风进口管(18)处压力的两倍。
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