[实用新型]一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟

说明书

本实用新型涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟。它包括若干片等间隔排布的石墨舟叶和若干石墨固定块，石墨舟叶的两侧设有电极连接耳，奇数位石墨舟叶上的电极连接耳之间通过石墨固定块统一连接，偶数位石墨舟叶上的电极连接耳之间也通过石墨固定块统一连接，奇数位上的石墨固定块和偶数位上的石墨固定块单独连接电源正负极，一般电源正负极与位于中部的石墨固定块连接，石墨舟叶之间穿设有若干根起固定作用的固定杆，相邻石墨舟叶之间设有若干个可将硅片以倾斜状态固定的硅片固定位，倾斜角为1°～9°，硅片固定位为沿石墨舟叶长度方向线性分布。

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟，尤其是涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟。

背景技术

硅片的大尺寸化作为可有效降低太阳能电池组件度电成本的一种技术越来越受到重视，但随着硅片尺寸的不断增大对现有的电池片生产线的提出了新的要求。

在太阳能电池片制造中需要在硅片正背面进行镀膜处理，一般使用PECVD（等离子增强化学气相沉积）镀膜法，常规管式PECVD镀膜工序中使用石墨舟作为工装载体；随着硅片尺寸的大型化，硅片受热翘曲的情况会越严重，同时还会导致碎片、掉片、绕镀等现象将愈发明显。

发明内容

本实用新型提供了一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟；解决现有技术中存在硅片受热翘曲的问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟，包括若干片等间隔排布的石墨舟叶和若干石墨固定块，石墨舟叶的两侧设有电极连接耳，奇数位石墨舟叶上的电极连接耳之间通过石墨固定块统一连接，偶数位石墨舟叶上的电极连接耳之间也通过石墨固定块统一连接，奇数位上的石墨固定块和偶数位上的石墨固定块单独连接电源正负极，一般电源正负极与位于中部的石墨固定块连接，石墨舟叶之间穿设有若干根起固定作用的固定杆，固定杆为绝缘材料制成，一般为陶瓷，其特征在于：相邻石墨舟叶之间设有若干个可将硅片以倾斜状态固定的硅片固定位，倾斜角为1°～9°，硅片固定位为沿石墨舟叶长度方向线性分布。本实用新型的硅片固定位可以将硅片以倾斜状态固定，可有效改善硅片因受热翘曲导致的绕镀问题。

作为优选，所述的硅片固定位包括有三颗固定在石墨舟叶上的石墨卡块，三颗石墨卡块分别用于限制硅片的两侧边和底边，相邻石墨舟叶上的卡块为间隔设置。

作为优选，所述的硅片固定位可承托的硅片尺寸在190～230mm之间。

作为优选，除去位于外侧的两片石墨舟叶，其他石墨舟叶上且位于硅片固定位内开设有镂空区域。镂空区域可以很大程度降低石墨舟叶的自重，减少石墨舟叶因重力而产生较大的形变，而导致硅片受挤压而产生碎片。

作为优选，所述相邻硅片固定位的间距30～60mm，在该间距范围内，石墨舟叶受重力产生的形变较小。

作为优选，固定杆为上下两排对称设置，相邻固定杆的间距与硅片固定位的中心间距相同，上下相邻固定杆之间的间距为190～260mm，而且固定杆一般设在避开硅片固定位所在区域。

作为优选，所述的石墨舟叶间距为10～15mm。

作为优选，所述的三颗石墨卡块为螺栓状且较粗的头部朝外设置，其较细的柱状直径为5～10mm。硅片是放置在石墨卡块的柱状部位，头部起到限位的作用。

作为优选，所述的三颗石墨卡块距离自己最近的硅片边角的距离为30～60mm。

因此，本实用新型相比现有技术具有以下特点：1.石墨舟叶上设有若干个可将硅片以倾斜状态固定的硅片固定位，可有效改善硅片因受热翘曲导致的绕镀问题。

附图说明

附图1是本实用新型的一种结构示意图；

附图2是本实用新型的侧视图；