[实用新型]一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置有效
| 申请号： | 201922428672.3 | 申请日： | 2019-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN211998832U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 徐海云;郑艺;岳立平;贾炜冬;滕鑫胜;沙婷;林坤;李旭;孙秋丽;罗文键 | 申请（专利权）人： | 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/083 | 分类号： | C01B21/083;B01D53/18 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 057550 河北省邯*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 除去 氟化 氧化亚氮 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：所述装置包括填料吸收塔、真空解吸水罐、真空泵以及水泵；
填料吸收塔顶部设有NF3出口和喷淋口，中下部设有原料气进口，底部设有N2O溶液出口；
真空解吸水罐的顶部设有真空口，中部设有进料口，底部设有出水口；
填料吸收塔的N2O溶液出口与真空解吸水罐的进料口连接；水泵的两端分别与真空解吸水罐的出水口、填料吸收塔的喷淋口对应连接；真空泵与真空解吸水罐的真空口连接。
2.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中填料的等效直径不大于填料吸收塔直径的十分之一。
3.根据权利要求2所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中填料的等效直径为10mm～50mm。
4.根据权利要求1至3任一项所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：填料吸收塔中的填料为鲍尔环、θ环或拉西环。
5.根据权利要求1所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：真空解吸水罐为卧式容器，长径比为(2～10)：1。
6.根据权利要求5所述的一种除去三氟化氮中氧化亚氮的装置，其特征在于：进料口位于真空解吸水罐的一端，真空口位于进料口一端的上部，出水口位于真空解吸水罐另一端的下部。
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