[实用新型]一种电子元件生产的光刻装置

权利要求书

1.一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体（1）、支撑底座（2），其特征在于，所述光刻机本体（1）的下方设置有支撑底座（2），支撑底座（2）的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆（3），电动伸缩杆（3）的上端与光刻机本体（1）固定连接，支撑底座（2）的为圆形，支撑底座（2）的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座（2）内侧设置有若干个卡托件（12）、托板一（10），托板一（10）位于卡托件（12）的下方，支撑底座（2）的内底部设置有圆台（7）。

2.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述光刻机本体（1）的一侧设置有控制件（20），控制件（20）上设置有显示面板（21）和操作面板（22）。

3.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述卡托件（12）包括套管（13）、托板二（14）、滑杆（16）、螺纹杆（19），套管（13）的左端固定有螺纹杆（19），套管（13）内环的设置有滑杆（16），滑杆（16）的左侧设置有弹簧二（17），弹簧二（17）的左端固定有连接板（18），连接板（18）与套管（13）固定，滑杆（16）的右端固定有托板二（14）和缓冲垫（15），缓冲垫（15）位于托板二（14）的上方。

4.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支撑底座（2）的内侧开设有若干个滑槽（5），滑槽（5）内滑动设置有滑板（11），滑板（11）的一侧固定有弹簧一（6），弹簧一（6）与滑槽（5）内壁固定。

5.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述圆台（7）的上端设置有保护垫（8），圆台（7）的下端固定有圆柱（9），圆柱（9）与支撑底座（2）螺纹连接，保护垫（8）上端开设有圆槽。

6.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支撑底座（2）的上端固定有若干个支撑足（4）。