[实用新型]MOCVD石墨盘

权利要求书

1.一种MOCVD石墨盘，其特征在于，包括：盘体及分布于所述盘体表面用于放置外延衬底的多个石墨卡槽，所述多个石墨卡槽于所述盘体上分布为内圈和外圈；在外圈的每个石墨卡槽中，于MOCVD石墨盘旋转时离心力所在方向沿石墨卡槽边缘卡持外延衬底处开设有一槽口，内部固定一个与该槽口大小匹配的低导热系数高机械强度垫片。

2.如权利要求1所述的MOCVD石墨盘，其特征在于，在内圈的每个石墨卡槽中，于MOCVD石墨盘旋转时离心力所在方向沿石墨卡槽边缘卡持外延衬底处开设有一槽口，内部固定一与该槽口大小匹配的低导热系数高机械强度垫片。

3.如权利要求1或2所述的MOCVD石墨盘，其特征在于，所述槽口弧度占石墨卡槽边缘的5％～20％，沿石墨卡槽半径方向上的厚度为1mm～20mm，高度与石墨卡槽的深度相同。

4.如权利要求1或2所述的MOCVD石墨盘，其特征在于，所述垫片的导热系数小于75W/(m·K)，机械强度中弯曲强度大于170MPa，杨氏模量大于320GPa。

5.如权利要求1或2所述的MOCVD石墨盘，其特征在于，所述垫片为AlN陶瓷垫片。