[实用新型]一种用于光学元件抛光的压力精密控制装置

说明书

本实用新型提供了一种用于光学元件抛光的压力精密控制装置，包括外壳体、内缸体、柱塞套和柱塞；外壳体固定在机身上，内缸体通过轴承转动连接在外壳体内；柱塞套则过盈配合固定在内缸体内，且柱塞套下端伸出内缸体下端并贯穿机身，柱塞套顶部密封连接有将柱塞套顶部密封的内缸盖，柱塞套内具有空腔，且该空腔气路连接有供气管路，柱塞配合滑动设置在柱塞套内，且柱塞下端伸出柱塞套底部，柱塞下端固定有抛光头。本实用新型结构设计合理简单，在缸体中设计柱塞套，在不实用密封圈密封、消除密封圈摩擦力对抛光压力影响的同时，有效简化柱塞副结构，达到了降低制造成本和缩短制造周期的效果。

技术领域

本实用新型涉及光学元件抛光加工技术领域，尤其涉及一种用于光学元件抛光的压力精密控制装置。

背景技术

在光学元件抛光加工中通过调节气体压力实现抛光压力的控制。在抛光压力中包含气体波动、活塞推动抛光盘移动产生的动摩擦力和静摩擦力等压力差，这些压力差直接影响抛光去除率，也影响对去除量的预测。因此，抛光盘实际压力控制影响抛光精度和光学元件收敛效率。

为例精确控制抛光压力，通常采用柱塞副结构，利用柱塞和柱塞孔精密配合密封气压，不使用密封圈密封，消除密封圈摩擦力对抛光压力的影响。但是由于柱塞副精度高，结构复杂，加工制造成本高，制造周期长，影响了柱塞副抛光头的广泛应用。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本实用新型提供一种结构设计合理，在不实用密封圈密封、消除密封圈摩擦力对抛光压力影响的同时，有效简化柱塞副结构，降低制造成本、缩短制造周期的一种用于光学元件抛光的压力精密控制装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于光学元件抛光的压力精密控制装置，设置在光学元件抛光机内，所述的光学元件抛光机包括机身，所述机身内设有由动力机构驱动转动的主动轴，所述的压力精密控制装置通过轴承转动连接在机身上，所述的压力精密控制装置包括外壳体、内缸体、柱塞套和柱塞；所述的外壳体固定在机身上，所述的内缸体通过轴承转动连接在外壳体内，且内缸体轴向下端伸出外壳体下端并与机身连接，所述的内缸体下端与机身通过机身轴承转动连接；所述的柱塞套则过盈配合固定在内缸体内，且柱塞套下端伸出内缸体下端并贯穿机身，所述的柱塞套顶部密封连接有将柱塞套顶部密封的内缸盖，所述的柱塞套内具有空腔，且该空腔气路连接有供气管路，所述的柱塞配合滑动设置在柱塞套内，且柱塞下端伸出柱塞套底部，所述的柱塞下端固定有抛光头，所述的柱塞套外固定有传动轮，所述传动轮与主动轴传动连接。

在上述方案中，巧妙地利用了柱塞套的设计，柱塞滑动连接在柱塞套内，柱塞套配合内缸盖可密封气压，受供气管路的气体压力控制而发生移动，简化了柱塞副的结构。同时柱塞套配合固定在内缸体内，当机身内动力机构驱动主动轴转动时，传动轮带动柱塞套转动，内缸体随之同步转动，由于轴承的作用，外壳体不会干涉内缸体的动作。

进一步的，所述的主动轴上固定有主动轮，所述传动轮与主动轮通过传动带传动连接。

进一步的，所述的内缸体顶部通过上连接轴承与外壳体转动连接、底部通过下连接轴承与外壳体转动连接；所述的外壳体顶部压接有上端盖，所述的上连接轴承压接在上端盖与外壳体之间，所述的内缸体顶部周向外凸出具有压接环，所述压接环的下端面压接在上轴承的上端面上；所述的外壳体底部内部具有下连接轴承配合的轴向截面呈倒置的L型的凹槽，所述的内缸体底部则向外凸出固定有支撑环，所述下连接轴承配合压接在凹槽与支撑环之间。

本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的一种用于光学元件抛光的压力精密控制装置，结构设计合理简单，在缸体中设计柱塞套，在不实用密封圈密封、消除密封圈摩擦力对抛光压力影响的同时，有效简化柱塞副结构，达到了降低制造成本和缩短制造周期的效果。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。