[实用新型]一种基于ALD镀膜的高灵敏度光波导传感器

权利要求书

1.一种光波导传感器，包括传感器本体，其特征在于：所述传感器本体包括依次设置的输入单模光波导、多模光波导和输出单模光波导，所述输入单模光波导和多模光波导之间、所述多模光波导和输出单模光波导之间分别无缝连接，所述多模光波导包括芯层、形成在所述芯层的相对二个侧面上的敏感层及形成所述芯层的其他侧面上的包层。

2.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于：所述敏感层采用ALD镀膜技术形成。

3.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于：所述敏感层的厚度为0.1μm-1μm。

4.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于：所述多模光波导芯层的高度、宽度相同或不同，其大小范围为9μm-50μm。

5.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于：所述多模光波导的长度为1cm-2cm。

6.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于：所述输入单模光波导包括芯层及形成在所述芯层外表面上的包层，所述输出单模光波导包括芯层及形成在所述芯层外表面上的包层，所述多模光波导芯层与输入单模光波导芯层、输出单模光波导芯层在连接处分别为无偏心连接。

7.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于：所述输入单模光波导芯层的高度、宽度相同或不同，其大小范围为1μm ~9μm ；所述输出单模光波导芯层的高度、宽度相同或不同，其大小范围为1μm ~9μm。

8.根据权利要求7所述的光波导传感器，其特征在于：所述输入单模光波导、输出单模光波导的长度分别为1cm。

9.根据权利要求1~8中任一项权利要求所述的光波导传感器，其特征在于：所述光波导传感器还包括衬底，所述传感器本体固定设置在所述衬底上。