[实用新型]一种便携式现场真空计校准装置

权利要求书

1.一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，包括校准室(1)，与所述校准室(1)连接的微调阀(2)，设置在所述校准室(1)上的用于安装待校准真空计的被检口(3)和标准真空计(4)，设置于所述校准室(1)下部的壳体(5)，以及安装在所述壳体(5)内的分子泵、机械泵(6)、全量程真空规管(7)、增压器(8)、分子泵控制电源(9)；所述全量程真空规管(7)与所述校准室(1)连接，所述增压器(8)通过手动角阀(10)连接所述校准室(1)。

2.根据权利要求1所述的一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，所述校准室(1)为球形校准室，其半径r为10cm≤r≤12cm。

3.根据权利要求2所述的一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，所述被检口(3)为高真空标准口。

4.根据权利要求3所述的一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，所述标准真空计(4)采用标准电离真空规管。

5.根据权利要求4所述的一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，所述全量程真空规管(7)与所述校准室(1)之间设置有电磁阀(11)。

6.根据权利要求5所述的一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，所述增压器(8)采用涡轮增压器。

7.根据权利要求6所述的一种便携式现场真空计校准装置，其特征在于，所述机械泵(6)安装于所述壳体(5)内的底部。