[实用新型]太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构有效
| 申请号： | 201922452530.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN211785622U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18;G01Q30/00 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 张抗震 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 赫兹 近场 显微镜 脉冲 引出 机构 | ||
1.一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括一90°平面镜、位于一太赫兹脉冲束的输入侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜、一垂直平面镜、位于所述太赫兹脉冲束的输出侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜、一垂直平面镜，其特征在于，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构还包括：
一AFM探针，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品；
一第一平面镜，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧；
一抛物面镜，所述抛物面镜被固定设置于行程可调的一三维调节架，所述抛物面镜置于所述AFM样品台的斜上方，以使得通过微调所述三维调节架将经所述抛物面镜的所述太赫兹脉冲束聚焦于所述AFM探针。
2.根据权利要求1所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述第一平面镜采用与水平面成30°角的平面镜。
3.根据权利要求1所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，位于所述太赫兹脉冲束的所述输入侧和所述输出侧的所述指示激光器、所述ITO反射薄膜和所述垂直平面镜均固定设置于一二维调节架。
4.根据权利要求3所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述二维调节架的角度可调。
5.根据权利要求1所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述90°平面镜固定设置于一三维调节架。
6.一种太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，适于并且匹配各种型号的原子力显微镜以检测一待测样品，其特征在于，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构包括：
一90°平面镜；
一AFM探针，所述AFM探针用于检测置于一AFM样品台的所述待测样品；
一第一平面镜，所述第一平面镜置于所述90°平面镜的靠近AFM样品台的一侧；
一抛物面镜，所述抛物面镜被固定设置于行程可调的一三维调节架，所述抛物面镜置于所述AFM样品台的斜上方，以使得通过微调所述三维调节架将经所述抛物面镜的一太赫兹脉冲束聚焦于所述AFM探针。
7.根据权利要求6所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述第一平面镜采用与水平面成30°角的平面镜。
8.根据权利要求6所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构还包括均固定设置于一二维调节架的分别位于所述太赫兹脉冲束的一输入侧和一输出侧的一指示激光器、一ITO反射薄膜和一垂直平面镜。
9.根据权利要求8所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述二维调节架的角度可调。
10.根据权利要求6所述的太赫兹近场显微镜的太赫兹脉冲束引出机构，其特征在于，所述90°平面镜固定设置于一三维调节架。
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