[实用新型]一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置

说明书

一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置，包括真空罐体、机械泵、油桶、注油真空腔体、进油电磁阀、注油电磁阀、高位磁性开关、低位磁性开关、浮块槽、空心金属浮块，所述真空罐体分别通过管路连接机械泵、注油真空腔体和油桶，在真空罐体的侧壁上设有纵向的浮块槽，浮块槽与真空罐体内部相互连通，空心金属浮块置于浮块槽内，在浮块槽的外壁的上下两端分别固定高位磁性开关和低位磁性开关，注油真空腔体内装有传感器。本实用新型一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置，可在不拆卸真空油罐的情况下实现硅油的自动填装。

技术领域

本实用新型涉及压力传感器的生产工艺，尤其涉及一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置。

背景技术

MEMS压力传感器生产过程中需要在真空条件下将传感器内部腔体内填充硅油，整体系统处于真空密封的环境下，每当硅油用完之后需要整体拆卸，填装硅油后重新启动，本实用新型可实现在不拆卸装置的情况下实现硅油的自动填装。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置，可实现在不拆卸真空油罐的情况下进行硅油的自动填装。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案实现：

一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置，包括真空罐体、机械泵、油桶、注油真空腔体、进油电磁阀、注油电磁阀、高位磁性开关、低位磁性开关、浮块槽、空心金属浮块，所述真空罐体分别通过管路连接机械泵、注油真空腔体和油桶，在真空罐体的侧壁上设有纵向的浮块槽，浮块槽与真空罐体内部相互连通，空心金属浮块置于浮块槽内，在浮块槽的外壁的上下两端分别固定高位磁性开关和低位磁性开关，注油真空腔体内装有传感器。

所述注油真空腔体与真空罐体连接的位置低于注油电磁阀的安装位置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置，可在不拆卸真空油罐的情况下实现硅油的自动填装。

附图说明

图1是本实用新型整体工装的立体结构示意图；

图2是本实用新型整体工装的平面结构示意图(一)；

图3是本实用新型整体工装的平面结构示意图(二)；

图4是本实用新型的真空罐体的示意图；

图5是本实用新型的浮块槽的示意图；

图6是接近开关与电磁阀的电气图。

图中：1-真空罐体、2-机械泵、3-油桶、4-注油真空腔体、5-进油电磁阀、6-注油电磁阀、7-高位磁性开关、8-低位磁性开关、9-浮块槽、10-空心金属浮块。

具体实施方式

下面结合说明书附图对本实用新型进行详细地描述，但是应该指出本实用新型的实施不限于以下的实施方式。

如图1-图6所示，一种传感器硅油充罐设备上的自动填油装置，包括真空罐体1、机械泵2、油桶3、注油真空腔体4、进油电磁阀5、注油电磁阀6、高位磁性开关7、低位磁性开关8、浮块槽9、空心金属浮块10，所述真空罐体1分别通过管路连接机械泵2、注油真空腔体4和油桶3，在真空罐体1的侧壁上设有纵向的浮块槽9，浮块槽9与真空罐体1内部相互连通，空心金属浮块10置于浮块槽9内，在浮块槽9的外壁的上下两端分别固定高位磁性开关7和低位磁性开关8，注油真空腔体4内装有传感器。

高位磁性开关7和低位磁性开关8连接PLC，PLC连接进油电磁阀5和注油电磁阀6。高位磁性开关7和低位磁性开关8可以采用接近开关。

所述注油真空腔体4与真空罐体1连接的位置低于注油电磁阀6的安装位置。