[实用新型]一种吸气剂微泵

说明书

本实用新型涉及一种吸气剂微泵，属于电真空元件制造技术领域。该吸气剂微泵由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。本实用新型的吸气剂微泵提高了吸气剂的贮存寿命，具有安装方便、激活使用方便、吸气性能优良等特点。

技术领域

本实用新型属于电真空元件制造技术领域，特别涉及一种吸气剂微泵。

背景技术

吸气剂是实现真空器件内部工作环境长效维持的关键功能材料，通过吸收器件封装后的残余气体和器件工作时释放和渗漏的活性气体，提高和维持器件的真空度，提高器件的性能可靠性和使用寿命。

吸气剂在使用前需要对其进行加热激活，使其露出更多活性金属表面来吸附气体。对于内加热型吸气剂，一般需要将其安装在器件内壁的电极上，并采用外部通电加热来实现激活，但是吸气剂规格尺寸较多，因此对其与真空器件、尤其是玻璃器件的装配工艺要求较高，也是吸气剂应用过程中的一个难点。另外，目前吸气剂在保存时常用的方法为包装袋抽真空或者包装盒通惰性气体保存等，这些方法都存在着密封不严的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种吸气剂微泵，本实用新型的吸气剂微泵使用方便、贮存性能较强、吸气性能优良、拓宽了吸气元件的种类。

一种吸气剂微泵，由热子型吸气剂、电极杆、T型玻璃管和圆形玻璃片等组成，所述的热子型吸气剂由具有绝缘层的加热丝及涂覆在加热丝绝缘层上的吸气材料构成，两个电极杆分别连接在热子型吸气剂的加热丝两端，圆形玻璃片封盖在T型玻璃管的一端，热子型吸气剂和部分电极杆真空密封在T型玻璃管中，两个电极杆的一端通过圆形玻璃片上的两个圆孔露出在T型玻璃管的外部。

在上述吸气剂微泵中，所述的吸气材料为Ti、Zr、Mo、Al、C、V、Fe、Ce、Mn、La、Ni和/或Hf；所述的加热丝为螺旋结构，加热丝的两个电极头在螺旋结构的同侧或异侧，加热丝材质为W、WRe、Mo或MoLa，绝缘层成分为Al₂O₃、MgO、CaO和/或SiO₂。

在上述吸气剂微泵中，两个电极杆通过电阻焊焊接固定在加热丝两端(即吸气剂两个电极)，焊接的位置距离电极杆顶端0mm～10mm。

在上述吸气剂微泵中，所述的热子型吸气剂的主体为圆柱形，加热丝的两端露出于吸气剂主体的外部；所述的圆柱状主体的直径为2mm～10mm，长度为5mm～20mm。

在上述吸气剂微泵中，所述的电极杆的材质为W、Mo和/或Ni，杆径为0.15mm～1.45mm，长度为20mm～95mm，电极杆露出T型玻璃管一侧的长度为总长度的1/6至1/4，优选的露出长度为5mm～20mm。

在上述吸气剂微泵中，T型玻璃管由直径较大、一端封口的粗管部分和直径较小的细管部分组成T型连通结构，细管部分与粗管部分的连接处位于粗管长度中心点至粗管开口端之间。T型玻璃管的厚度与圆形玻璃片的厚度相同，厚度为0.2mm～2mm；T型玻璃管粗管部分的直径与圆形玻璃片的直径相同，直径为10～100mm，高度为20mm～100mm；细管部分直径为5mm～30mm、长度为10mm～100mm。圆形玻璃片上设有两个孔，两个孔沿径向对称分布。

在上述吸气剂微泵中，所述的圆形玻璃片通过火焰枪进行焊接密封在T型玻璃管粗管部分的开口端，所述的圆形玻璃片与电极杆之间通过火焰枪进行焊接密封，T型玻璃管细管部分开口端通过火焰枪进行焊接密封。

本实用新型的优点：