[实用新型]一种适用于制坨机的旋转摆动台

说明书

本实用新型公开了一种适用于制坨机的旋转摆动台，包括：工作载台，其上设置有摆动系统和旋转系统，旋转系统包括旋转电机、旋转盘、水平花键轴、竖直旋转杆等；摆动系统包括摆动电机、丝杠、摆动滑台等，摆动滑台的中部连接推力轴承安装座；推力轴承安装座的上端设置有推力轴承安装槽；推力轴承安装槽内安装推力轴承；旋转盘位于推力轴承安装座的上方并与推力轴承的上端固定连接；所述旋转盘的上方连接用于夹持沉积石英玻璃的基础杆的夹具。本实用新型采用在推力轴承安装座的推力轴承安装槽内安装推力轴承，该推力轴承的结构更加稳定，旋转过程更加平稳，合成出的石英玻璃结构更均匀。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，特别是涉及一种适用于制坨机的旋转摆动台。

背景技术

石英玻璃是由各种纯净的天然石英(如水晶、石英砂等)熔化制成，其具有特殊的光谱透过性能，热膨胀系数低，是普通玻璃的1/10-1/20、耐高温、耐激光损伤、耐射线辐照、耐化学腐蚀，线膨胀系数极小，有很好的抗热震性。它的耐热性很高，经常使用温度为1100～1200摄氏度，短期使用温度可达1400摄氏度，由于它具有高的光谱透射，不会因辐射线损伤，因此也是用于宇宙飞船、风洞窗和分光光度计光学系统的理想玻璃。石英玻璃在太阳能半导体工业、超大规模集成电路光刻、激光工程、航天工业等领域均具有不可替代的应用优势。随着各领域光学系统对石英玻璃尺寸和光学均匀性要求的不断提高，研制大尺寸、高均匀石英玻璃的需求剧增。

石英玻璃的光学均匀性直接影响光学系统的成像质量。用光学均匀性数值及分布图可表征材料内部折射率不均匀的程度。若玻璃存在光学不均匀，则光通过介质后会产生相位差，可导致光学系统无法实现预期功能，甚至无法工作。

石英玻璃制坨机是石英玻璃生产的关键设备，其结构及性能直接影响石英玻璃的尺寸和光学均匀性。合成石英玻璃是以含硅前驱体(通常采用SiCl₄)为原料，在氢氧焰中发生水解或氧化反应生成SiO₂纳米颗粒，沉积并熔融于石英玻璃基底表面制备而成。

现有技术中公开的制坨机具有升降、旋转和摆动功能，但是现有公开的制坨机的旋转结构不稳定，例如CN201910952410.9一种制坨机中公开的旋转支撑结构，采用至少三个轴承旋转支撑单元的方式，该方式的旋转支撑结构不稳定，且对安装精度要求较高，导致生产效率低下，修理率高，合成出的石英玻璃结构不均匀，此外，现有的制坨机的旋转动力单元的整体结构全部需要随着制坨机摆动，导致制坨机的摆动单元承重过大，容易损坏摆动单元。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种适用于制坨机的旋转摆动台，包括：

工作载台，其内设置有支撑板；所述支撑板设置有平行的水平导轨；所述支撑板上设置有支撑板通孔；

摆动滑台，其与平行的水平导轨通过滑块连接；所述摆动滑台的底部通过摆动丝杠螺帽座连接有丝杠；所述摆动滑台的中部设置有安装通孔；

摆动电机，其电机轴连接减速器Ⅰ，减速器Ⅰ连接在工作载台的侧板上与丝杠的一端连接；所述丝杠的另一端通过丝杠支撑座连接在支撑板的上部；所述摆动滑台的底部连接摆动丝杠螺帽座，摆动丝杠螺帽座与丝杠相配合连接；

推力轴承安装座，其可拆卸连接在摆动滑台的中部且与安装通孔同轴设置；所述推力轴承安装座的上端设置有推力轴承安装槽；所述推力轴承安装槽内安装推力轴承；

旋转电机，其电机轴连接减速器Ⅱ；所述减速器Ⅱ的输出轴水平设置，且减速器Ⅱ的输出轴上连接水平花键轴；两块平行的竖直安装板，其分别竖直连接在支撑板的下方的两端；所述水平花键轴的两端分别通过轴承Ⅰ与竖直安装板可转动连接；所述水平花键轴上水平滑动连接有转向斜齿轮Ⅰ；所述转向斜齿轮Ⅰ上连接有连接套，所述连接套与水平花键轴水平滑动连接；