[实用新型]一种密封式蚀刻装置

权利要求书

1.一种密封式蚀刻装置，包括箱体(1)，所述箱体(1)的侧面设置有药水添加管道(2)和废液排出管道(3)，其特征在于：所述箱体(1)的上表面上设置有电路板升降机构，所述箱体(1)的上表面开设有升降口(4)，所述电路板升降机构包括驱动器(11)、密封盖(12)和电路板固定件(13)，所述驱动器(11)固定设置于所述箱体(1)的上表面，所述驱动器(11)与所述密封盖(12)传动连接，所述电路板固定件(13)与所述密封盖(12)固定连接，所述密封盖(12)的大小和形状均与所述升降口(4)匹配。

2.根据权利要求1所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述电路板固定件(13)包括固定部(131)和可拆卸部(132)，所述固定部(131)与所述密封盖(12)固定连接，所述可拆卸部(132)可拆卸地连接于所述固定部(131)上。

3.根据权利要求2所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述可拆卸部(132)与所述固定部(131)卡接。

4.根据权利要求3所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述可拆卸部(132)上设置有至少一个电路板固定插槽(132a)。

5.根据权利要求4所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述电路板固定插槽(132a)的朝向竖直向下。

6.根据权利要求1所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述电路板固定件(13)的材料为耐碱性材料。

7.根据权利要求1所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述密封盖(12)上表面的边缘连接有橡胶盖片，所述橡胶盖片从所述密封盖(12)的四周向外延伸2cm～5cm。

8.根据权利要求1所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述驱动器(11)为直线电机。

9.根据权利要求1所述的密封式蚀刻装置，其特征在于：所述箱体(1)的侧面设置有气体收集管道(5)，所述气体收集管道(5)与抽气泵连接。