[实用新型]一种晶圆传送盒摆放架

说明书

本实用新型公开了一种晶圆传送盒摆放架，包括：支撑架，所述支撑架设有多层物料区，物料区均设有多个物料工位，物料工位上表面均设有多个导向筋；显示器，显示器固定于支撑架的一侧；多个读取探头，读取探头固定于与物料工位下表面，读取探头穿过物料工位延伸至上表面；多个数据接收器，物料工位均固定连接有一数据接收器，数据接收器两端分别与读取探头和显示器连接。本实用新型通过读取探头。数据接收器以及显示器配合，当产品放置物料工位时，读取探头将信号发给数据接收器，在通过数据接收器将产品放置时间以及状态显示在显示器上。

技术领域

本实用新型涉及摆放架，尤其涉及一种晶圆传送盒摆放架。

背景技术

晶圆传送盒是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，货物架上往往会放很多晶圆传送盒，以往没有任何记录晶圆传送盒放了多久。技术人员再拿取时，由于没有记录往往都是随机拿取，拿取后也没有记录，导致时间错乱，影响后期产品合格率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可有效解决上述技术问题的一种晶圆传送盒摆放架。

为了达到本实用新型之目的，采用如下技术方案：一种晶圆传送盒摆放架，包括：

支撑架，所述支撑架设有多层物料区，所述物料区均设有多个物料工位，所述物料工位上表面均设有多个导向筋；

显示器，显示器固定于支撑架的一侧；

多个读取探头，所述读取探头固定于与物料工位下表面，所述读取探头穿过物料工位延伸至上表面；

多个数据接收器，所述物料工位均固定连接有一数据接收器，所述数据接收器两端分别与读取探头和显示器连接。

优选地，摆放架还包括：多个锁紧组件，锁止组件与所述物料工位一一对应；所述锁紧组件与所述支撑架配合对产品进行锁紧，所述支撑架固定有多个移动轮。

优选地，锁紧组件包括：与物料工位固定连接的导向架、与导向架配合的驱动架、用于驱动架复位的第一弹簧以及与驱动架配合的限位组件，所述驱动架设有与导向架配合的驱动部，所述第一弹簧套设于驱动部上，所述驱动部固定连接有一定位板，所述第一弹簧设于定位板与导向架支架之间。

优选地，限位组件包括：两个驱动块、用于固定驱动块一端的配合板、与物料工位配合的锁紧块以及用于物料锁紧块复位的第二弹簧；所述驱动块设有两个配合空间，所述锁紧块一端位于配合空间内设有一阻位部，另一端穿过驱动块延伸至外侧；第二弹簧设于阻位部与配合空间之间；所述驱动架设有一配合部，所述配合部设有第一斜面，所述配合板设有与第一斜面配合的第二斜面。

优选地，物料工位下表面固定有一导向板，所述导向板对配合部起到支撑导向的作用。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过读取探头。数据接收器以及显示器配合，当产品放置物料工位时，读取探头将信号发给数据接收器，在通过数据接收器将产品放置时间以及状态显示在显示器上。

2、通过锁紧组件对产品进行锁紧，产品放置完成后，导向筋与锁紧组件配合对产品进行固定，避免出现支撑架晃动出现产品脱离读取探头探测位置，出现重新记录的现象。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例中晶圆传送盒摆放架整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例中晶圆传送盒摆放架支撑架结构示意图；

图3为本实用新型实施例中晶圆传送盒摆放架锁紧组件结构示意图；