[实用新型]基于内同轴视觉的自动对焦装置

权利要求书

1.一种基于内同轴视觉的自动对焦装置，其特征在于，包括控制器、与所述控制器连接的相机和调焦平台、指示光源、激光光源、合束镜、振镜、场镜以及工件台；所述振镜、场镜安装在调焦平台上；所述合束镜安装在指示光源和激光光源的出射路径上，用于将激光光源和指示光源产生的光脉冲进行合束；所述激光光源用于产生加工激光，所述指示光源用于产生指示激光；所述对焦装置的光路为：激光光源和指示光源产生的光脉冲经过合束镜合束后，依次经过振镜调节、场镜聚焦，作用在工件台上的工件表面上，指示激光在工件表面反射后依次经过场镜、振镜、合束镜后，进入相机，所述相机用于获取工件台上工件表面的图像信息，所述控制器用于对所述图像信息进行处理，并用于根据处理结果控制调焦平台的高度。

2.根据权利要求1所述的一种基于内同轴视觉的自动对焦装置，其特征在于，所述合束镜包括第一合束镜和第二合束镜，所述第一合束镜位于激光光源与指示光源之间，用于将激光光源产生的加工激光和指示光源产生的指示激光进行合束；所述第二合束镜位于相机与振镜之间，用于反射合束后的光脉冲以及透射指示激光。

3.根据权利要求2所述的一种基于内同轴视觉的自动对焦装置，其特征在于，所述第一合束镜透射加工激光、反射指示激光；所述第二合束镜反射加工激光和指示激光、透射指示激光。

4.根据权利要求2所述的一种基于内同轴视觉的自动对焦装置，其特征在于，所述第一合束镜与指示光源出射的指示激光的夹角为45°，所述第一合束镜与激光光源出射的加工激光的夹角为45°。

5.根据权利要求2所述的一种基于内同轴视觉的自动对焦装置，其特征在于，所述第一合束镜与第二合束镜平行或垂直。

6.根据权利要求1所述的一种基于内同轴视觉的自动对焦装置，其特征在于，所述相机为CCD数码相机。